La bis(trimetilsilil)amina (también conocida como hexametildisilazano o HMDS) es un compuesto de organosilicio con la fórmula molecular [(CH3)3Si]2NH.
Por ejemplo, la bis(trimetilsilil)amida de litio (LiHMDS) se prepara utilizando n -butillitio: La LiHMDS y otros derivados similares: bis(trimetilsilil)amida de sodio (NaHMDS) y bis(trimetilsilil)amida de potasio (KHMDS) se utilizan como bases no nucleofílicas en química orgánica sintética.
[6] La sililación del ácido glutámico con exceso de hexametildisilazano y TMSCl catalítico en xileno o acetonitrilo a reflujo, seguida de dilución con alcohol (metanol o etanol), produce el ácido piroglutámico lactámico derivado con un buen rendimiento.
Los mejores resultados se obtienen aplicando HMDS desde la fase gaseosa sobre sustratos calentados.
[10] En la deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD), el HMDS se utiliza como precursor molecular en reemplazo de gases altamente inflamables y corrosivos como el SiH4, CH4 y NH3, ya que se puede manipular fácilmente.