Un láser excimer suele utilizar una mezcla de gases nobles (argón, kriptón o xenón) y un gas halógeno (flúor o cloro), que en condiciones adecuadas de estimulación eléctrica y de presión elevada, emite radiación coherente estimulada (luz láser) en el rango ultravioleta.
El complejo en su estado fundamental rápidamente se disocia en átomos sin consolidar: El resultado es un láser de excímeros que irradia energía a 248 nm, que se encuentra en la parte cercana del espectro ultravioleta, lo que se corresponde con la diferencia de energía entre el estado fundamental y el estado excitado del complejo.
Otras aplicaciones importantes son el micromecanizado de una amplia variedad de materiales tales como plástico, vidrio, cristal, materiales compuestos y tejidos orgánicos (sobre estas aplicaciones ver información más detallada en el artículo sobre láser excimer).
La luz de este láser UV es fuertemente absorbida por los lípidos, ácidos nucleicos y proteínas, por lo que resulta atractivo para aplicaciones en terapia médica y cirugía.
La luz emitida por el láser de KrF es invisible al ojo humano, por lo que son necesarias precauciones de seguridad adicionales cuando se trabaja con este láser, para evitar daños provocados por haces perdidos.