[4]​Análisis cristalográficos posteriores establecieron que el metóxido y los isopropóxidos de niobio adoptan estructuras bioctaédricas.

Se conocen varios métodos para preparar el etóxido de tántalo (V).

Para evitar la generación de especies mixtas de cloruro y etóxido, se suele añadir una base como el amoníaco para atrapar el HCl liberado:[7]​ 10 EtOH + Ta2Cl10 + 10 NH3 → Ta2(OEt)10 + 10 NH4Cl También se puede utilizar la metátesis salina utilizando un alcóxido de metal alcalino:[7]​ 10 NaOEt + Ta2Cl10 → Ta2(OEt)10 + 10 NaCl El mismo compuesto puede prepararse electroquímicamente.

[8]​ El compuesto también puede prepararse por reacción directa del metal de tántalo con etanol, en cuyo caso la ecuación general es la misma que la mostrada anteriormente para el método electroquímico.

Ambas rutas implicaban la reacción directa del cloruro metálico con alcohol en presencia de disolventes para obtener un producto con una pureza superior al 99,999%.

[11]​ El método elegido para la preparación de estos materiales viene determinado por las propiedades deseadas.

[16]​La deposición química en fase vapor permite controlar el grosor de la película a escala nanométrica, lo que resulta esencial para algunas aplicaciones.

[19]​ El etóxido de tantalio(V) se condensa con ácidos carboxílicos para dar oxoalcoxido-carboxilatos, por ejemplo, Ta4O4(OEt)8(OOCCH3)4.