[1] Alrededor de 1970, los científicos descubrieron que al agrupar grandes cantidades de transistores microscópicos en un solo chip, se podían construir circuitos microelectrónicos que mejoraban drásticamente el rendimiento, la funcionalidad y la confiabilidad, todo mientras reducían los costos y aumentaban el volumen.Más recientemente, los científicos han aprendido que no solo los dispositivos eléctricos, sino también los dispositivos mecánicos, pueden ser miniaturizados y fabricados en lotes, prometiendo los mismos beneficios para el mundo mecánico que la tecnología de circuitos integrados ha dado al mundo eléctrico.Parece claro que en un futuro no muy lejano estos dispositivos serán tan generales como la electrónica.Hoy, el término MEMS en la práctica se usa para referirse a cualquier dispositivo microscópico con una función mecánica, que puede fabricarse en un proceso por lotes (por ejemplo, una matriz de engranajes microscópicos fabricados en un microchip se consideraría un dispositivo MEMS pero un pequeño stent mecanizado con láser o componente de reloj no lo haría).Las distinciones en estos términos son relativamente menores y a menudo se usan indistintamente.El grupo europeo NEXUS proyecta ingresos aún mayores, utilizando una definición más inclusiva de MEMS.De hecho, existen en el mercado varios productos en cuyo desarrollo han intervenido técnicas nanotecnológicas.[6] Los sensores MEMS son dispositivos miniaturizados que pueden detectar cambios físicos como presión, temperatura, o la presencia de sustancias químicas.[7] Son cámaras extremadamente pequeñas que se integran en endoscopios y otros dispositivos de imagen médica.[7] Son pequeñas partículas que pueden ser cargadas con medicamentos y dirigidas a áreas específicas del cuerpo.Son utilizadas en la liberación controlada de fármacos, permitiendo una administración más precisa y reduciendo los efectos secundarios.También se utilizan en tratamientos de cáncer para entregar agentes terapéuticos directamente a las células tumorales.[7][6] Son Robots y dispositivos extremadamente pequeños que se pueden implantar en el cuerpo o ingresar a través de procedimientos mínimamente invasivos.[7] Son chips microelectrónicos que pueden realizar múltiples pruebas diagnósticas en una sola muestra de fluidos corporales.Son utilizadas en la cirugía ocular, neurocirugía y otras especialidades donde se requiere una alta precisión para evitar daños a tejidos delicados.[7] Técnicas que utilizan microtecnología para mejorar la resolución y la precisión de las imágenes médicas.[7] Electrodos diminutos que se utilizan para estimular o registrar señales eléctricas en tejidos biológicos.[6] Los siguientes elementos se han construido en una escala de 1 micrómetro utilizando fotolitografía: Los motores fabricados con microtecnología, también conocidos como microactuadores, son dispositivos muy pequeños que se utilizan para convertir energía en movimiento mecánico a una escala microscópica.Además, los métodos de fabricación pueden incluir técnicas avanzadas como litografía, deposición química vapor (CVD), electroformado, entre otros.
