La microfabricación se refiere al empleo de técnicas de miniaturización, esencialmente litografías, para producir circuitos integrados o sistemas microelectromecánicos (MEMS).
Las técnicas empleadas para producir circuitos integrados son principalmente litografías de superficie.
Litografías de superficie Estas son técnicas heredadas de la industria microelectrónica.
Tras cada capa depositada se lleva a cabo un proceso de litografiado de la capa, descrito a continuación: En la fabricación de MEMS (ver más arriba), se depositan normalmente capas alternadas de polisilicio y fosfosilicato vítreo.
Una vez completa la serie de deposiciones+litografiados el material sacrificial se disuelve con un último tipo de disolvente, dejando así sólo el material estructural (polisilicio) con huecos intermedios en los lugares ocupados anteriormente por el material sacrificial.