Generalmente se considera que entre 1 nanómetro a 1 micrómetro de tamaño, aunque esto es discutible.
Las solicitudes de micromáquinas incluyen acelerómetros que detectan cuando un coche ha golpeado un objeto y activar un airbag.
Los tres tipos más comunes de actuadores son electrostáticos, térmicos y magnéticos.
Cuanto mayor es el campo eléctrico, más lejos se moverá el rotor.
Cuando una corriente pasa a través del objeto, se crea calor.