Como escritor destacan entre sus obras los Epigramas latinos del humanista giennense D. Diego de Benavides y de la Cueva (Latin epigrams) y Horae succisiuae siue Elucubrationes.

Esta última obra es una antología poética recopilada por sus hijos Manuel y Francisco de Benavides que fue publicada en 1660 (segunda edición, 1664).

En 1661 fue nombrado virrey del Perú, llegando a Lima el 31 de diciembre.

Su tercera mujer destacó en el mandato de su marido como una prevaricadora, pues su mayor tarea fue la de vender cargos públicos, así como asistir a fiestas y actos públicos.

Tuvo por hijos de este matrimonio:[1]​ Contrajo segundo en 1651 matrimonio con su cuñada Juana Dávila y Corrella (m. 1653),[1]​ de quien tuvo un hijo que falleció siendo niño.