El gobierno de la provincia recaía en el intendente provincial.
La provincia estaba compuesta por: Abarcaba desde el Despoblado de Atacama, por el norte, hasta el río Choapa por el sur.
Con la Constitución de 1833, las provincias se dividen en departamentos.
Los departamentos están divididos en subdelegaciones, y estas a su vez en distritos.
Departamentos: Serena, Elqui, Ovalle e Illapel; Art.