La provincia de Atacama fue una de las divisiones administrativas de Chile existente desde 1843 hasta 1976.
Fue creada con la ley de 31 de octubre de 1843,[1] a partir del departamento de Copiapó, el departamento de Freirina y el departamento de Vallenar provenientes de la antigua provincia de Coquimbo.
Hacia 1856, la Provincia contaba con los siguientes departamentos: En 1925, los departamentos eran: El DFL 8582 del 30 de diciembre de 1927, que establece: PROVINCIA DE ATACAMA.- Capital Copiapó.
Departamentos: Chañaral, Copiapó y Huasco, capital Vallenar.
2°- Los departamentos tendrán por límites los fijados por el decreto-ley número 354, de 17 de marzo de 1925, y sus actuales cabeceras, con las modificaciones siguientes, además de las arriba indicadas: El DFL 8583 suprime las comunas de: Así, la Provincia queda conformada por: En 1931 se suprime la comuna de El Tránsito (anexada a Vallenar) y en 1940 se restablece el departamento de Freirina, con lo que la provincia quedó compuesta por: Para 1976 la Provincia de Atacama estaba formada de la siguiente manera: Más tarde, en 1976, la provincia pasó a convertirse en la Región de Atacama dividida en las provincias de Chañaral, Copiapó y Huasco.