Hexafluoruro de wolframio

Es un compuesto corrosivo, en condiciones estándar es un gas incoloro con una densidad aproximada de 12.6 g/L (unas 11 veces más denso que el aire.[2]​[3]​[4]​), el WF6 es uno de los gases conocidos más pesados bajo condiciones estándar.En esta fase, la distancia W-F es de 181 pm, y los medios más cercanos contactos intermoleculares son 312pm.Tales compuestos MF6 formar gases densos, sin embargo, cuando el elemento M es más pesado que el wolframio, el compuesto es líquido o sólido a temperatura ambiente.Desde 1967 se han desarrollado dos métodos de deposición, la descomposición térmica y la reducción con hidrógeno.[20]​ La pureza del gas necesaria es bastante alta, oscila entre 99,98% y 99,9995%, dependiendo de la aplicación.La deposición se produce selectivamente solo sobre Si puro, pero no en óxido de silicio o nitruro, por tanto, la reacción es altamente sensible a la contaminación o al pretratamiento del sustrato.Por otro lado, el grabado por HF puede ser beneficiosa para eliminar las capas deseadas de impureza.Por lo tanto, silano que comúnmente se utilizan para crear una capa de tungsteno nucleación delgada.Por ejemplo, se retarda la química de Ar / O2 / H2 llama y reduce su temperatura.[22]​ El hexafluoruro de wolframio es un compuesto muy corrosivo que ataca a cualquier tejido.Tras una exposición prolongada, esto conduce a neumonitis y edema pulmonar, pudiendo ser fatal.