[5]​ La primera mención fue en 1930 por Ruff y Krug que lo preparó por fluoración de cloro; también se forma ClF y la mezcla se separa por destilación[6]​ El ClF3 tiene aproximadamente forma de T, con un enlace corto (1,598 Å) y dos enlaces largos (1,698 Å).

Estas reacciones son a menudo violentas, y en algunos casos explosivas.

[8]​ Cualquier equipo que entra en contacto con el trifluoruro de cloro debe ser cuidadosamente revisado y limpiado, ya que cualquier contaminación arde explosivamente al contacto.

La reacción de hidrólisis con agua es violenta y la exposición da como resultado una quemadura térmica.

El ácido fluorhídrico es corrosivo para los tejidos humanos, se absorbe a través de la piel, ataca selectivamente hueso y afecta la función nerviosa, y causa el envenenamiento por flúor, a menudo fatal.

Se encontró que era una efectiva arma combinada: incendiaria y gas venenoso.

John D. Clark resume las dificultades: "Es, por supuesto, extremadamente tóxico, pero es el menor problema.

Es hipergólico con cada combustible conocido, y tan rápidamente que no ha sido medido retraso de la ignición.