El triclorosilano purificado es el precursor principal del silicio ultrapuro en la industria de semiconductores.
En agua, se descompone rápidamente para producir un polímero de silicona mientras libera ácido clorhídrico.
Debido a su reactividad y amplia disponibilidad, es frecuentemente utilizado en la síntesis de compuestos orgánicos que contienen silicio.
Estos reactivos se utilizan en ciencia de superficies y nanotecnología para formar monocapas autoensambladas.
Esas capas que contienen flúor disminuyen la energía superficial y reducen la adhesión.