Fue creado por J. R. Arthur y Alfred Cho a finales de los 60 en los laboratorios Bell.Así por ejemplo, galio o arsénico en estado sólido ultrapuro, se calientan por separado en celdas con estructura Knudsen, hasta alcanzar su temperatura de sublimación.Esto se debe al elevado camino libre medio de los átomos conseguido mediante el vacío.En otros sistemas, las obleas en las que crecen estos cristales pueden estar montadas sobre una base rotatoria que puede calentarse hasta varios cientos de grados celsius durante este proceso.Otras variaciones incluyen el MBE en estado gaseoso, parecida a la deposición química de vapor.
Arreglo experimental para crecimiento epitexial por haces moleculares.
