Fue sintetizado por primera vez por John Davy en 1812.

[3]​ El correspondiente GeF4 se preparó de manera análoga, excepto que requiere "cracking" térmico a 700 °C.

[4]​ Este compuesto volátil encuentra un uso limitado en la microelectrónica y la síntesis orgánica.

[5]​ Los penachos volcánicos contienen cantidades significativas de tetrafluoruro de silicio, la producción puede alcanzar varias toneladas por día.

[6]​ El tetrafluoruro de silicio está parcialmente hidrolizado y forma ácido hexafluorosilícico.