Limpieza con plasma

A medida que los átomos y las moléculas se "relajan" a sus estados normales de menor energía, liberan un fotón de luz, lo que da como resultado el "resplandor" o luz característica asociado con el plasma.

Si el gas utilizado es oxígeno, el plasma es un método eficaz, económico y ambientalmente seguro para la limpieza crítica.

[2]​ Estas especies reaccionan con contaminantes orgánicos para formar H2O, CO, CO2 e hidrocarburos de menor peso molecular.

Los átomos e iones activados por plasma se comportan como un chorro de arena molecular y pueden descomponer los contaminantes orgánicos.

Estos contaminantes se vaporizan durante el procesamiento y son evacuados de la cámara.

Se puede evaluar si la eliminación orgánica es completa o no mediante mediciones del ángulo de contacto.

[3]​ Si una superficie a tratar está recubierta con una capa conductora estampada (metal, ITO), el tratamiento por contacto directo con plasma (capaz de contraerse formando microarcos) podría ser destructivo.

En este caso, se puede aplicar la limpieza mediante átomos neutros excitados en plasma hasta un estado metaestable.

[5]​ La limpieza con plasma elimina la contaminación orgánica mediante reacciones químicas o ablación física de hidrocarburos en las superficies tratadas.

[6]​ La viabilidad, función, proliferación y diferenciación celular están determinadas por la adhesión a su microambiente.

Figura 1. La superficie de un dispositivo MEMS se limpia con plasma de oxígeno azul brillante en un grabador de plasma para eliminar los contaminantes de carbono. (100 mTorr, 50 W RF).
Figura 2. Contenido de carbono sobre la profundidad del material z: antes del tratamiento de la muestra - puntas de diamante y después del tratamiento durante 1 s. - puntos cuadrados.
Fig. 3. Ángulo de contacto de la gota de agua de 5 μ l sobre vidrio recubierto con diferentes materiales.
Figura 4. Área de superficie de la huella de una gota de agua de 5 μl de volumen sobre la superficie del vidrio versus el tiempo t después de su tratamiento. En el recuadro se muestra una gota sobre vidrio sin tratar.
Figura 5. Haz de plasma limpiando una superficie metálica,