Al exponer un material a rayos X de longitudes de onda cortas o a rayos gamma, pueden ionizarse los átomos que constituyen el material.
Tanto los rayos X como los gamma pueden ser suficientemente energéticos para desprender electrones fuertemente ligados en los orbitales internos del átomo.
En esta caída, o transición, se genera energía mediante emisión de un fotón.
Esto aporta la base de una poderosa técnica utilizada en química analítica.
Por lo tanto es posible obtener información atómica en el intervalo de «submicrómetros»: inferior a micrómetros.
La cantidad de carga generada es proporcional a la energía del fotón incidente.
El contador es una cámara que contiene un gas ionizado por fotones de rayos X.
La señal se amplifica y transforma dentro de una cuenta digital acumulativa.
El proceso de fluorescencia es ineficiente, y la radiación secundaria es mucho más débil que el haz primario.
Para aplicaciones menos demandantes o cuando la muestra se daña por el vacío (p. ej.