Epsilon evolucionó de la letra he (𐤄) del alfabeto fenicio, de la cual también procede la hebrea he ה y la árabe ḥā ه'.
La letra era originalmente una consonante, pero en griego evolucionó a una vocal en época clásica.
En las inscripciones más antiguas esta letra aparece como su modelo fenicio, es decir, una imagen especular de la actual con sus tres "brazos" apuntando hacia la izquierda.
[4] Epsilon se usó en todos los alfabetos griegos locales, y su forma era relativamente similar en la mayoría de los alfabetos, excepto en la dirección y la inclinación.
Sin embargo, en algunos alfabetos (por ejemplo, el de Corinto o Épiro) épsilon puede parecerse a la letra B y en otros (por ejemplo, Sición) a un reloj de arena.