Fue el primer compuesto binario descubierto de un gas noble.

[4]​ Se produce por la reacción química del xenón con flúor, F2, de acuerdo con la ecuación química:[5]​[6]​ Esta reacción es exotérmica, liberando una energía de 251 kJ / mol.

[4]​ El tetrafluoruro de xenón es una sustancia cristalina incolora.

El anión XeF−5 también se forma por la reacción con fluoruro de cesio:[12]​ La reacción con pentafluoruro de bismuto (BiF5) forma el catión XeF+3:[13]​ El catión XeF+3 en la sal XeF3Sb2F11 se ha caracterizado por espectroscopía RMN.

El XeF4 reacciona con la silicona para formar productos gaseosos simples, dejando un residuo de impurezas metálicas.