La técnica EELS fue originalmente propuesta y demostrada por Hillier y Baker[1] EELS fue la primera técnica espectroscópica vibracional [1] con posibilidades de barrer de una sola vez y con rapidez la región del infrarrojo (IR).
Hasta entonces los métodos IR como RAIRS (Reflection-Absorption IR Spectroscopy) para estudiar capas adsorbidas[2] en superficies metálicas eran los más utilizados.
(Interactúan con los campos eléctricos superficiales producidos por las moléculas de los adsorbatos y los átomos del sustrato.)
A altas energías, el haz transmitido contiene electrones dispersados inelásticamente cuya energía ha sido disminuida en cantidades correspondientes a la frecuencia de absorción característica del sólido.
A energías menores, el haz reflejado es monitoreado buscando las mismas transiciones.