Dicho censo tomó como unidad básica los corregimientos y, dentro de ellos, los curatos.
Realizado por delegados nombrados por los corregidores, clasificó a la población en grupos sociorraciales (españoles, mestizos, mulatos, indios y negros); a su vez estas categorías se subdividieron en casados, solteros, viudos y párvulos (niños).
En 1796 O'Higgins ordenó realizar un recuento parcial de la población indígena al sur del río Biobío, el que fue llevado a cabo secretamente por los capitanes de amigos que residían entre la población mapuche.
El resultado, bastante inexacto por lo demás, entregó una cifra total de 95 304 indígenas, sin especificar más detalles.
En general, la metodología empleada en los diferentes empadronamientos de población que se realizaron durante el siglo XVIII ofrece serias dudas sobre la exactitud de los datos, especialmente en lo que refiere a la distinción entre españoles, mestizos e indígenas.
Dicho censo, el primero de carácter nacional, dividió a la población en las mismas categorías sociorraciales que los empadronamientos anteriores e indicó la cifra de 621 866 habitantes para todo el territorio nacional.
Las primeras décadas del siglo XX estuvieron marcadas por diversas dificultades.
En 1970 la institucionalidad censista cambió al crearse el Instituto Nacional de Estadísticas (INE), organismo que funciona hasta la actualidad.