El proceso utiliza los métodos de pasivación y oxidación térmica.En una reunión de electrochemical society del año 1958, Mohamed Atalla presentó un documento sobre la pasivación de uniones PN por oxidación térmica, basado en su obra 1957 BTL memos.A Hoerni se le ocurrió la "idea planar" durante una mañana mientras pensaba en el artefacto de Atalla.[2] El proceso fue desarrollado por Jean Hoerni, conocido como uno de los traitorous ocho, mientras trabajaba en Fairchild Semiconductor, emitiendo una primera patente en 1959.[6] Algunos investigadores utilizan una litografía ultravioleta extrema de mayor energía.
