Hijo de Pedro de Villacampa, regente del Consejo de Aragón, y de Francisca Pueyo y Laya.
Estuvo casado dos veces, con Ángela del Castillo y Nestrosa y posteriormente con María Josefa Jiménez de Montalvo y Cabrera, con las cuales tuvo varios hijos.
Fiscal de la junta de obras y bosques en 1689, miembro del Consejo de Hacienda en 1697, del de Indias en 1706, del de Castilla en septiembre del mismo año, y camarista de Castilla en 1720.
En 1726, tras la muerte del presidente del Consejo Real Juan de Herrera y Soba, Villacampa desempeñó interinamente durante un breve periodo la gobernación del mismo, como decano de los consejeros.
[2] Muerto en Madrid a los 76 años, fue enterrado en la iglesia de San Martín de la villa.