Éste puede ser preparado como un sublimado amarillo a 1000 °C reaccionando GeO2 con Germanio en forma metálica.
El sublimado amarillo se torna café al calentarse a 650 °C.
[1] GeO no está correctamente caracterizado.
[1] Este es anfótico disolviéndose en ácidos para formar sales de germanio(II) y en alcalino para formar trihidroxogermanatos conteniendo Ge(OH)3− ion.
[2] El óxido de germanio se descompone en Ge y GeO2.