ASM (anteriormente conocida como ASM International NV , originalmente significa Advanced Semiconductor Materials ) es una corporación multinacional con sede en Holanda que se especializa en el diseño, fabricación, venta y servicio de equipos de procesamiento de obleas semiconductoras para la fabricación de dispositivos semiconductores . Los productos de ASM son utilizados por fabricantes de semiconductores en el procesamiento inicial de obleas en sus plantas de fabricación de semiconductores . Las tecnologías de la MAPE incluyen deposición de capas atómicas , epitaxia , deposición química de vapor y difusión. [1]
La empresa fue fundada por Arthur del Prado (1931-2016) como 'Advanced Semiconductor Materials' en 1964. [2] Desde 2008 hasta 2020, hijo de Arthur del Prado, Chuck del Prado fue director ejecutivo . La MAPE fue pionera en aspectos importantes de muchas tecnologías establecidas de procesamiento de obleas utilizadas en la industria, incluida la litografía , la deposición , la implantación de iones , la epitaxia de una sola oblea y, en los últimos años, la deposición de capas atómicas . Las empresas de equipos semiconductores ASML , ASM Pacific Technology (ASMPT) y Besi son antiguas divisiones de ASM. [2] [3]
La sede de ASM está ubicada en Almere , Países Bajos . La empresa tiene centros de I+D en Almere (Países Bajos), Helsinki (Finlandia), Lovaina (Bélgica, cerca de IMEC ), Phoenix (Arizona), Tama (Japón) y Dongtan ( Corea del Sur ). La fabricación se produce principalmente en Singapur y Dongtan ( Corea del Sur ). ASM también tiene oficinas de ventas y servicios en todo el mundo, incluidos Estados Unidos , Corea del Sur , China , Taiwán , Japón , Singapur e Israel . En 2021, cuenta con 3.312 empleados, ubicados en 14 países. [1]
Las acciones de la empresa cotizan en Euronext Amsterdam . En marzo de 2020, ASM fue ascendido al índice AEX . [4] ASM tiene una participación minoritaria en ASM Pacific Technology , una empresa con sede en Hong Kong que se dedica al ensamblaje de semiconductores, el embalaje y la tecnología de montaje en superficie .
Para crear un chip semiconductor , se realizan muchos pasos individuales utilizando varios tipos de equipos de procesamiento de obleas , incluido el modelado fotolitográfico , el depósito de capas delgadas, el grabado para eliminar material, tratamientos térmicos y otros pasos. Los sistemas de ASM están diseñados para procesos de deposición, cuando se cultivan o depositan películas delgadas o capas de diversos materiales sobre la oblea. Se depositan muchas capas diferentes de películas delgadas para completar la secuencia completa de pasos del proceso necesarios para fabricar un chip.
El desarrollo tecnológico de ASM está impulsado por el objetivo de sus clientes de construir chips semiconductores más rápidos, más baratos y más potentes con un consumo de energía reducido. Este objetivo impulsa la necesidad de reducir las dimensiones de los componentes del chip, con el objetivo de duplicar el número de componentes por unidad de área de un chip cada dos años ( ley de Moore ). En el marco de esta ampliación de dimensiones, ASM suministra a sus clientes ( fabricantes de chips ) máquinas que depositan películas cada vez más finas de materiales semiconductores . ASM también desarrolla procesos de deposición de nuevos materiales que se utilizarán en la fabricación de semiconductores.
Durante los últimos 15 años, se ha introducido una gama cada vez mayor de nuevos materiales en la fabricación de chips. [5] Estos nuevos materiales eran necesarios para lograr las mejoras necesarias en el rendimiento de los chips, como lo describe la Ley de Moore. Por ejemplo, en 2007, en un transistor MOSFET , el dieléctrico de óxido de silicio fue reemplazado por un alto κ , un material que tiene una mayor resistencia eléctrica que el óxido de silicio. En este caso particular, la MAPE fue pionera en el proceso químico y el nuevo método de deposición llamado deposición de capas atómicas durante casi una década de I+D. [6] [7] Además, se requieren métodos de deposición cada vez más precisos a medida que los componentes de un chip, como los transistores, se trasladan de estructuras planas a estructuras 3D , como los FinFET en la última década. [8] La ASM tiene una posición de liderazgo en la deposición de capas atómicas de oblea única (ALD). [7]
ASM ofrece varios métodos y máquinas complementarias para depositar estas finas películas de materiales. La empresa intenta ampliar al máximo la aplicabilidad de sus tecnologías y máquinas de deposición. [9] La I+D es fundamental en ese esfuerzo. En 2021, la empresa gastó 151 millones de euros en I+D (o el 9% de sus ingresos anuales). [1] Las actividades de I+D abarcan desde la investigación básica de nuevos materiales hasta la aplicación de nuevos materiales en la fabricación de chips.
ASM diseña y vende herramientas de deposición de una sola oblea, en las que el proceso se realiza una oblea a la vez, así como las llamadas herramientas por lotes , en las que la deposición se realiza en varias obleas a la vez. Los precios de los sistemas de la empresa varían, pero normalmente son múltiplos de millones de euros por sistema. Los productos de la MAPE se pueden clasificar según el método de deposición:
La deposición de capas atómicas es un proceso capa por capa que da como resultado la deposición de películas delgadas, una capa atómica a la vez, de una manera altamente controlada. Las capas se forman durante los ciclos de reacción pulsando alternativamente precursores y reactivos y purgando con gas inerte entre cada pulso. ASM ofrece herramientas ALD de oblea única en dos segmentos tecnológicos: ALD térmico y ALD mejorado por plasma (PEALD). Las herramientas ALD de ASM incluyen Synergis, Pulsar y EmerALD. Las herramientas PEALD incluyen Eagle XP8 y XP8 QCM. [1]
La epitaxia es un proceso que se utiliza para depositar capas a base de silicio cristalino controladas con precisión que son importantes para las propiedades eléctricas de los dispositivos semiconductores. El proceso de epitaxia del silicio se puede utilizar para modificar las características eléctricas de la superficie de la oblea para crear transistores de alto rendimiento durante la fabricación de chips semiconductores. Las herramientas de epitaxia de ASM son herramientas de oblea única e incluyen Intrepid y Epsilon. [1]
La deposición química de vapor es un proceso de deposición química en el que la oblea se expone a uno o más precursores volátiles, que reaccionan y/o se descomponen en la superficie del sustrato para producir la película deseada. Dentro de la deposición química de vapor (CVD), la ASM ofrece dos tipos de herramientas: CVD mejorada con plasma de oblea única(PECVD) y CVD por lotes de baja presión (LPCVD). ASM proporciona procesos PECVD de oblea única en la herramienta Dragon XP8. ASM proporciona procesos de difusión/LPCVD por lotes en el horno vertical A400 DUO y nuevas herramientas Sonora. [1]
Década de 1960 : En 1964, Arthur del Prado funda la ASM como 'Materiales semiconductores avanzados' en Bilthoven, Países Bajos. [10] Inicialmente, la empresa opera como agente de ventas en tecnología de fabricación de semiconductores en Europa. En 1968, la empresa se cotizó formalmente como sociedad de responsabilidad limitada.
Década de 1970 : ASM comienza a diseñar, fabricar y vender equipos de deposición química de vapor . [9] En 1974 adquiere Fico Toolings, un fabricante holandés de moldes para semiconductores . En 1975 se establece una oficina de ventas en Hong Kong, ASM Asia, ahora conocida y comercializada como ASM Pacific Technology. ASM America se funda en Phoenix, Arizona , en 1976. La venta de los hornos horizontales de deposición química de vapor mejorados con plasma de ASM impulsa el crecimiento de la empresa.
Década de 1980 : Tras una oferta pública inicial en el Nasdaq en mayo de 1981, la empresa se expande. En 1982 se establece ASM Japón. [2] ASM invierte en nuevas tecnologías de fabricación de semiconductores, como litografía, implantación de iones, epitaxia y unión de cables . En 1988, la empresa vende ASML Holding NV , ASM Ion Implant, y cotiza sus actividades con sede en Hong Kong como ASM Pacific Technology en la bolsa de valores de Hong Kong en 1989.
Década de 1990 : La empresa se reorganiza a fondo entre 1991 y 1994. [3] En 1993, ASM vende ASM Fico al Holding Berliner Electro, ahora conocido como Besi . La ASM se centra en los hornos verticales de deposición química de vapor de baja presión de ASM Europa, la deposición química de vapor mejorada con plasma de oblea única de ASM Japón y la epitaxia de oblea única de ASM América. A partir de 1996, la empresa también cotiza en Euronext de Ámsterdam . ASM conserva una participación mayoritaria en ASM Pacific Technology.
Década de 2000 : la MAPE vuelve a expandirse con inversiones en tecnología de obleas de 300 mm y deposición de capas atómicas . En 2007, la empresa llevó con éxito la deposición de capas atómicas de la investigación y el desarrollo a la producción de gran volumen mediante la aplicación de puerta metálica de alto κ . [7] Al mismo tiempo, los fondos de cobertura cuestionan la participación de la empresa en ASM Pacific Technology. [11] En 2008, Arthur del Prado es sucedido como director ejecutivo por su hijo, Chuck del Prado. [10] En 2009, la sede se traslada de Bilthoven a Almere , Países Bajos .
Década de 2010 : la empresa vuelve a la rentabilidad estructural después de la ejecución de un programa de reestructuración mundial, que incluye la implementación de una organización impulsada por productos, una única organización de ventas global, la consolidación de la fabricación en Singapur y el establecimiento de una organización global de recursos humanos , finanzas y TI. , excelencia operativa y organización ambiental, de seguridad y salud . La aplicación de la deposición de capas atómicas (mejorada con plasma) en patrones múltiples y una puerta metálica de alto κ impulsa el crecimiento de la MAPE. [6] [7] Otros productos incluyen epitaxia, PECVD y horno vertical. Su participación en ASM Pacific Technology se reduce al 25%.
Década de 2020 : En 2020, en Euronext, la empresa está incluida en el índice AEX . que incluye las 25 principales empresas que cotizan en la bolsa de valores Euronext Amsterdam. [4] El mismo año, después de 12 años como director ejecutivo, Chuck del Prado decidió dimitir y fue sucedido por Benjamín Loh. Entre 2020 y 2022, ASM renovó su línea de productos de hornos verticales con A400DUO (obleas de 200 mm) y Sonora (obleas de 300 mm).
ASM vende sus equipos a fabricantes de semiconductores en todo el mundo y la mayoría de sus ingresos provienen de clientes asiáticos. En 2021, 1.410 millones de euros del total de 1.730 millones de euros de ingresos se generaron a través de la venta de equipos, el resto provino de repuestos y servicios.
Las acciones de ASM cotizan en la bolsa de valores Euronext desde 1996. Desde marzo de 2020, ASM está incluida en el índice AEX . [4] La capitalización de mercado de ASM Pacific Technology ya no está consolidada después de que la participación de ASM en ASM Pacific Technology disminuyera al 25 por ciento en 2013. Entre 1981 y 2015, ASM también cotizó en el Nasdaq .
En 2018, el precio de las acciones promedió 48,62 euros, lo que resultó en una capitalización de mercado promedio de 2,53 mil millones de euros. En 2019, el precio medio de cierre fue de 68,98 euros, lo que resultó en una capitalización bursátil media de 3.380 millones de euros. [12] La capitalización de mercado a finales de 2021 era de 18,88 mil millones de euros, según el precio de cierre de las acciones de 388,70 euros en Euronext Amsterdam el 31 de diciembre de 2021.
