La palabra deriva del acrónimo en inglés MASER, por Microwave Amplification by Stimulated Emission of Radiation.
Sugerido por Joseph Weber, el primer máser fue construido por Charles Hard Townes, James P. Gordon y Herbert J. Zeiger en la Universidad de Columbia en 1953.
Por esta razón, Townes sugirió reemplazar "microondas" por "molecular" como primera palabra del acrónimo "maser".
[3][4] Los máseres extremadamente potentes, asociados con núcleos galácticos activos, se conocen como megamáseres y son hasta un millón de veces más poderosos que los máseres estelares.
Los máseres modernos pueden diseñarse para generar ondas electromagnéticas no solo a frecuencias de microondas sino también a frecuencias de radio e infrarrojas.