Las fuentes incoherentes de radiación UV tienen varias ventajas sobre las fuentes láser debido a su menor coste, gran área de irradiación y simplicidad de operación especialmente cuando se prevén procesos industriales a gran escala.[5][6] En todos los casos los fotones UV excitan o dividen enlaces químicos, formando radicales u otras especies químicas, que inician la reacción deseada.En la actualidad, las lámparas excimer se usan en la ecología, la fotoquímica, la fotobiología, la medicina, la criminalística, la petroquímica, la física, la microelectrónica, las tareas de ingeniería de gran alcance, diversos campos de la industria incluyendo la industria alimentaria y muchas otras áreas.Sin embargo, el uso de mercurio en estas lámparas plantea problemas ambientales en su eliminación.Por el contrario, las lámparas excímer basadas en gases raros no son peligrosas para el medio ambiente y las lámparas excimer que contienen halógeno son más benignas para el medio ambiente que las lámparas que contienen mercurio.
Lámpara excimer de 172 nm usada comercialmente para la industria de la impresión
