Integración a muy gran escala

VLSI comenzó a usarse en los años 70, como parte de las tecnologías de semiconductores y comunicación que se estaban desarrollando.Luego vinieron los semiconductores discretos, seguidos de circuitos integrados.Los primeros circuitos integrados contenían un pequeño número de dispositivos, como diodos, transistores, resistencias y condensadores (aunque no inductores), haciendo posible la fabricación de compuertas lógicas en un solo chip.La cuarta generación (LSI) consistía de sistemas con al menos mil compuertas lógicas.Hoy en día, los microprocesadores tienen varios millones de compuertas en el mismo chip.
Fotografía de las capas superiores de interconexión de un Intel 80486 DX2 tomada con un microscopio óptico con un aumento de 200×.