Una microsonda es un instrumento que aplica un haz estable y bien enfocado de partículas cargadas (electrones o iones) a una muestra.
Todas estas técnicas usan microscopios ópticos modificados para ubicar el área a analizar, dirigir el haz de la sonda y recoger la señal analítica.
Cuando la energía iónica es más alta, cientos de keV a unos pocos MeV (megaelectronvoltios), se llaman microsondas nucleares.
Estos instrumentos se usan para resolver problemas científicos en una amplia gama de campos, desde la microelectrónica hasta la biomedicina.
Es la radiación la que causa cambios en la muestra, lo que a su vez permite a los científicos e ingenieros desarrollar pequeños dispositivos como microprocesadores, acelerómetros (como en la mayoría de los sistemas de seguridad para automóviles), etc.