Nodo de tecnología de fabricación de dispositivos semiconductores.
El proceso de 90 nm se refiere a la tecnología utilizada en la fabricación de semiconductores para crear circuitos integrados con un tamaño mínimo de 90 nanómetros. Fue un avance con respecto al proceso anterior de 130 nm . Finalmente, fue reemplazado por nodos de proceso más pequeños, como los procesos de 65 nm , 45 nm y 32 nm .
Fue comercializado en el período 2003-2005 por empresas de semiconductores como Toshiba , Sony , Samsung , IBM , Intel , Fujitsu , TSMC , Elpida , AMD , Infineon , Texas Instruments y Micron Technology .
El origen del valor de 90 nm es histórico; refleja una tendencia de aumento del 70% cada 2 o 3 años. La denominación está determinada formalmente por la Hoja de ruta tecnológica internacional para semiconductores (ITRS).
El tamaño de oblea de 300 mm se volvió común en el nodo de 90 nm. El tamaño de oblea anterior era de 200 mm de diámetro.
La longitud de onda de 193 nm fue introducida por muchas (pero no todas) empresas para la litografía de capas críticas principalmente durante el nodo de 90 nm. Los problemas de rendimiento asociados con esta transición (debido al uso de nuevos fotoprotectores ) se reflejaron en los altos costos asociados con esta transición.
Es un nivel de tecnología de proceso de fabricación MOSFET ( CMOS ).
Historia
El ingeniero iraní Ghavam Shahidi (más tarde director de IBM ) con DA Antoniadis y HI Smith en el MIT fabricó un MOSFET de silicio de 90 nm en 1988. El dispositivo se fabricó mediante litografía de rayos X. [1]
Toshiba, Sony y Samsung desarrollaron un proceso de 90 nm durante 2001-2002, antes de ser introducido en 2002 para la eDRAM de Toshiba y la memoria flash NAND de 2 Gb de Samsung . [2] [3] IBM demostró un proceso CMOS de silicio sobre aislante (SOI) de 90 nm , con desarrollo dirigido por Shahidi, en 2002. El mismo año, Intel demostró un proceso de silicio tensado de 90 nm . [4] Fujitsu introdujo comercialmente su proceso de 90 nm en 2003 [5] seguido por TSMC en 2004. [6]
Gurtej Singh Sandhu de Micron Technology inició el desarrollo de películas de alta k de deposición de capas atómicas para dispositivos de memoria DRAM . Esto ayudó a impulsar la implementación rentable de memorias semiconductoras , comenzando con la DRAM de nodo de 90 nm . [7]
Ejemplo: proceso Elpida SDRAM DDR2 de 90 nm
Proceso SDRAM DDR2 de 90 nm de Elpida Memory . [8]
- Uso de tamaño de oblea de 300 mm
- Uso de litografía KrF (248 nm) con corrección óptica de proximidad.
- 512 MBit
- Operación de 1,8 V
- Derivado de procesos anteriores de 110 nm y 100 nm
Procesadores que utilizan tecnología de proceso de 90 nm
- Sony/Toshiba EE + GS ( PlayStation 2 ) - 2003 [9]
- Procesador celular Sony/Toshiba/IBM - 2005
- IBM PowerPC G5 970FX - 2004
- IBM PowerPC G5 970MP - 2005
- IBM PowerPC G5 970GX - 2005
- Procesador IBM "Waternoose" Xbox 360 - 2005
- Intel Pentium 4 Prescott - 2004-02
- Intel Celeron D Prescott-256 - 2004-05
- Intel Pentium M Dothan - 2004-05
- Intel Celeron M Dothan -1024-2004-08
- Intel Xeon Nocona, Irwindale, Cranford, Potomac, Paxville - 2004-06
- Intel Pentium D Smithfield - 2005-05
- AMD Athlon 64 Winchester, Venecia, San Diego, Orleans - 2004-10
- AMD Athlon 64 X2 Manchester, Toledo, Windsor - 2005-05
- AMD Sempron Palermo y Manila - 2004-08
- AMD Turion 64 Lancaster y Richmond - 2005-03
- NVIDIA GeForce 8800 GTS (G80) - 2006
- AMD Turion 64 X2 Taylor y Trinidad - 2006-05
- AMD Opteron Venus, Troya y Atenas - 2005-08
- AMD Opteron de doble núcleo Dinamarca, Italia, Egipto, Santa Ana y Santa Rosa
- A través de C7-2005-05
- Loongson (Ahijado) 2Е STLS2E02 - 2007-04
- Loongson (ahijado) 2F STLS2F02 - 2008-07
- MCST-4R - 2010-12
- Elbrús-2S+ - 2011-11
Ver también
Referencias
- ^ Shahidi, Ghavam G.; Antoniadis, DA; Smith, Hawai (diciembre de 1988). "Reducción de la corriente de sustrato generada por electrones calientes en MOSFET de Si de longitud de canal inferior a 100 nm". Transacciones IEEE en dispositivos electrónicos . 35 (12): 2430–. Código bibliográfico : 1988ITED...35.2430S. doi : 10.1109/16.8835.
- ^ "Toshiba y Sony logran importantes avances en tecnologías de procesos de semiconductores". Toshiba . 3 de diciembre de 2002 . Consultado el 26 de junio de 2019 .
- ^ "Nuestra orgullosa herencia de 2000 a 2009". Semiconductores Samsung . Samsung . Consultado el 25 de junio de 2019 .
- ^ "IBM e Intel discuten a 90 nm". Tiempos EE.UU. 13 de diciembre de 2002 . Consultado el 17 de septiembre de 2019 .
- ^ "Tecnología de proceso CMOS de 65 nm" (PDF) . Archivado desde el original (PDF) el 16 de mayo de 2020 . Consultado el 20 de junio de 2019 .
- ^ "Tecnología de 90 nm". TSMC . Consultado el 30 de junio de 2019 .
- ^ "Ganadores del premio IEEE Andrew S. Grove". Premio IEEE Andrew S. Grove . Instituto de Ingenieros Eléctricos y Electrónicos . Consultado el 4 de julio de 2019 .
- ^ Presentación de Elpida en Via Technology Forum 2005 y Informe anual de Elpida 2005
- ^ "EMOTION ENGINE® Y SINTETIZADOR DE GRÁFICOS UTILIZADOS EN EL NÚCLEO DE PLAYSTATION® SE CONVIERTEN EN UN CHIP" (PDF) . Sony . 21 de abril de 2003 . Consultado el 26 de junio de 2019 .
enlaces externos