El detector Everhart-Thornley ( detector E–T o detector ET ) es un detector de electrones secundarios y electrones retrodispersados que se utiliza en microscopios electrónicos de barrido (MEB). Recibe su nombre en honor a sus diseñadores, Thomas E. Everhart y Richard FM Thornley, quienes en 1960 publicaron su diseño para aumentar la eficiencia de los detectores de electrones secundarios existentes añadiendo un tubo de luz para llevar la señal de fotones desde el centelleador dentro de la cámara de muestras evacuada del MEB hasta el fotomultiplicador fuera de la cámara. [1] Antes de esto, Everhart había mejorado un diseño para una detección de electrones secundarios de Vladimir Zworykin y Jan A. Rajchman cambiando el multiplicador de electrones a un fotomultiplicador. El detector Everhart-Thornley con su guía de luz y su fotomultiplicador de alta eficiencia es el detector más utilizado en los MEB.
El detector consta principalmente de un centelleador dentro de una jaula de Faraday dentro de la cámara de muestras del microscopio. Se aplica un voltaje positivo bajo a la jaula de Faraday para atraer los electrones secundarios de energía relativamente baja (menos de 50 eV por definición). Otros electrones dentro de la cámara de muestras no son atraídos por este bajo voltaje y solo llegarán al detector si su dirección de viaje los lleva allí. El centelleador tiene un alto voltaje positivo (en la naturaleza de 10.000 V) para acelerar los electrones entrantes hacia él, donde pueden convertirse en fotones de luz. [2] La dirección de su viaje se enfoca hacia la guía de luz mediante un revestimiento de metal en el centelleador que actúa como un espejo. En el tubo de luz, los fotones viajan fuera de la cámara de vacío del microscopio a un tubo fotomultiplicador para su amplificación.
El detector de electrones secundarios ET se puede utilizar en el modo de electrones retrodispersados del SEM apagando la jaula de Faraday o aplicando un voltaje negativo a la jaula de Faraday. Sin embargo, se obtienen mejores imágenes de electrones retrodispersados con detectores de electrones retrodispersados dedicados en lugar de usar el detector E–T como detector de electrones retrodispersados.