El detector Everhart-Thornley ( detector E – T o detector ET ) es un detector de electrones secundario y de electrones retrodispersados que se utiliza en microscopios electrónicos de barrido (SEM). Lleva el nombre de sus diseñadores, Thomas E. Everhart y Richard FM Thornley, quienes en 1960 publicaron su diseño para aumentar la eficiencia de los detectores de electrones secundarios existentes agregando un tubo de luz para transportar la señal de fotones del centelleador al interior de la cámara de muestras evacuada del el SEM al fotomultiplicador fuera de la cámara. [1] Antes de esto, Everhart había mejorado un diseño para una detección de electrones secundarios por Vladimir Zworykin y Jan A. Rajchman cambiando el multiplicador de electrones por un fotomultiplicador. El detector Everhart-Thornley con su guía de luz y su fotomultiplicador altamente eficiente es el detector más utilizado en SEM.
El detector consiste principalmente en un centelleador dentro de una jaula de Faraday dentro de la cámara de muestras del microscopio. Se aplica un voltaje positivo bajo a la jaula de Faraday para atraer electrones secundarios de energía relativamente baja (menos de 50 eV por definición). Otros electrones dentro de la cámara de muestras no son atraídos por este bajo voltaje y sólo llegarán al detector si su dirección de viaje los lleva hasta él. El centelleador tiene un alto voltaje positivo (del tipo de 10.000 V) para acelerar los electrones entrantes, donde pueden convertirse en fotones de luz. [2] La dirección de su viaje se enfoca hacia la guía de luz mediante un recubrimiento metálico en el centelleador que actúa como un espejo. En el tubo de luz, los fotones viajan fuera de la cámara de vacío del microscopio hacia un tubo fotomultiplicador para su amplificación.
El detector de electrones secundarios ET se puede utilizar en el modo de electrones retrodispersados del SEM apagando la jaula de Faraday o aplicando un voltaje negativo a la jaula de Faraday. Sin embargo, las mejores imágenes de electrones retrodispersados provienen de detectores de EEB dedicados en lugar de utilizar el detector E – T como detector de EEB.