stringtranslate.com

Fotodiodo

Un fotodiodo es un diodo semiconductor sensible a la radiación de fotones , como la luz visible, la radiación infrarroja o ultravioleta, los rayos X y los rayos gamma . [1] Produce una corriente eléctrica cuando absorbe fotones. Esto se puede utilizar para aplicaciones de detección y medición, o para la generación de energía eléctrica en células solares . Los fotodiodos se utilizan en una amplia gama de aplicaciones en todo el espectro electromagnético, desde fotocélulas de luz visible hasta espectrómetros de rayos gamma.

Principio de funcionamiento

Un fotodiodo es una estructura PIN o unión p–n . Cuando un fotón de suficiente energía golpea el diodo, crea un par electrón - hueco . Este mecanismo también se conoce como efecto fotoeléctrico interno . Si la absorción ocurre en la región de agotamiento de la unión , o a una longitud de difusión de distancia de ella, estos portadores son barridos de la unión por el campo eléctrico incorporado de la región de agotamiento. De este modo, los huecos se mueven hacia el ánodo y los electrones hacia el cátodo , y se produce una fotocorriente . La corriente total a través del fotodiodo es la suma de la corriente oscura (corriente que pasa en ausencia de luz) y la fotocorriente, por lo que la corriente oscura debe minimizarse para maximizar la sensibilidad del dispositivo. [2]

En primer orden, para una distribución espectral dada, la fotocorriente es linealmente proporcional a la irradiancia . [3]

Modo fotovoltaico

Característica IV de un fotodiodo. Las líneas de carga lineales representan la respuesta del circuito externo: I=(Tensión de polarización aplicada - Tensión del diodo)/Resistencia total. Los puntos de intersección con las curvas representan la corriente y la tensión reales para una polarización, resistencia e iluminación dadas.

En el modo fotovoltaico ( polarización cero ), la fotocorriente fluye hacia el ánodo a través de un cortocircuito hacia el cátodo. Si el circuito está abierto o tiene una impedancia de carga que restringe la salida de la fotocorriente del dispositivo, se genera un voltaje en la dirección que polariza directamente el diodo, es decir, el ánodo es positivo con respecto al cátodo. Si el circuito está en cortocircuito o la impedancia es baja, una corriente directa consumirá toda o parte de la fotocorriente. Este modo explota el efecto fotovoltaico , que es la base de las células solares : una célula solar tradicional es simplemente un fotodiodo de gran superficie. Para una salida de potencia óptima, la célula fotovoltaica se hará funcionar a un voltaje que provoque solo una pequeña corriente directa en comparación con la fotocorriente. [3]

Modo fotoconductor

En el modo fotoconductor, el diodo está polarizado en sentido inverso , es decir, el cátodo se activa en sentido positivo con respecto al ánodo. Esto reduce el tiempo de respuesta porque la polarización inversa adicional aumenta el ancho de la capa de agotamiento, lo que disminuye la capacitancia de la unión y aumenta la región con un campo eléctrico que hará que los electrones se recolecten rápidamente. La polarización inversa también crea una corriente oscura sin muchos cambios en la fotocorriente.

Aunque este modo es más rápido, el modo fotoconductor puede exhibir más ruido electrónico debido a efectos de corriente oscura o avalancha. [4] La corriente de fuga de un buen diodo PIN es tan baja (<1 nA) que el ruido de Johnson-Nyquist de la resistencia de carga en un circuito típico a menudo domina.

Dispositivos relacionados

Los fotodiodos de avalancha son fotodiodos con una estructura optimizada para operar con alta polarización inversa, acercándose al voltaje de ruptura inversa. Esto permite que cada portadora fotogenerada se multiplique por la ruptura de avalancha , lo que da como resultado una ganancia interna dentro del fotodiodo, lo que aumenta la capacidad de respuesta efectiva del dispositivo. [5]

Símbolo electrónico de un fototransistor

Un fototransistor es un transistor sensible a la luz. Un tipo común de fototransistor, el fototransistor bipolar , es en esencia un transistor bipolar encerrado en una caja transparente para que la luz pueda llegar a la unión base-colector . Fue inventado por John N. Shive en Bell Labs en 1948 [6] : 205  pero no fue anunciado hasta 1950. [7] Los electrones que son generados por los fotones en la unión base-colector se inyectan en la base, y esta corriente del fotodiodo es amplificada por la ganancia de corriente del transistor β (o h fe ). Si se utilizan los cables de base y colector y el emisor se deja desconectado, el fototransistor se convierte en un fotodiodo. Si bien los fototransistores tienen una mayor capacidad de respuesta a la luz, no pueden detectar niveles bajos de luz mejor que los fotodiodos. [ cita requerida ] Los fototransistores también tienen tiempos de respuesta significativamente más largos. Otro tipo de fototransistor, el fototransistor de efecto de campo (también conocido como fotoFET), es un transistor de efecto de campo sensible a la luz. A diferencia de los transistores fotobipolares, los fotoFET ​​controlan la corriente de drenaje-fuente mediante la creación de un voltaje de compuerta.

Un solaristor es un fototransistor de dos terminales sin compuerta. En 2018, investigadores del ICN2 demostraron una clase compacta de fototransistores de dos terminales o solaristores . El concepto novedoso es un dispositivo de transistor y fuente de alimentación dos en uno que funciona con energía solar aprovechando un efecto memresistivo en el flujo de portadores fotogenerados. [8]

Materiales

El material utilizado para fabricar un fotodiodo es fundamental para definir sus propiedades, porque sólo los fotones con suficiente energía para excitar a los electrones a través de la banda prohibida del material producirán fotocorrientes significativas.

Los materiales comúnmente utilizados para producir fotodiodos se enumeran en la siguiente tabla. [9]

Debido a su mayor ancho de banda, los fotodiodos basados ​​en silicio generan menos ruido que los fotodiodos basados ​​en germanio.

Los materiales binarios, como el MoS 2 y el grafeno, surgieron como nuevos materiales para la producción de fotodiodos. [10]

Efectos no deseados y deseados del fotodiodo

Cualquier unión p-n, si se ilumina, es potencialmente un fotodiodo. Los dispositivos semiconductores, como diodos, transistores y circuitos integrados, contienen uniones p-n y no funcionarán correctamente si se iluminan con luz no deseada. [11] [12] Esto se evita encapsulando los dispositivos en carcasas opacas. Si estas carcasas no son completamente opacas a la radiación de alta energía (ultravioleta, rayos X, rayos gamma), los diodos, transistores y circuitos integrados pueden funcionar mal [13] debido a las fotocorrientes inducidas. La radiación de fondo del encapsulado también es significativa. [14] El endurecimiento por radiación mitiga estos efectos.

En algunos casos, el efecto es realmente deseado, por ejemplo, para utilizar LED como dispositivos sensibles a la luz (ver LED como sensor de luz ) o incluso para la recolección de energía , a veces llamados diodos emisores de luz y absorbentes de luz (LEAD). [15]

Características

Respuesta de un fotodiodo de silicio en función de la longitud de onda de la luz incidente

Los parámetros de rendimiento críticos de un fotodiodo incluyen la respuesta espectral, la corriente oscura, el tiempo de respuesta y la potencia equivalente al ruido.

Responsividad espectral
La capacidad de respuesta espectral es la relación entre la fotocorriente generada y la potencia de la luz incidente, expresada en A / W cuando se utiliza en modo fotoconductor. La dependencia de la longitud de onda también se puede expresar como una eficiencia cuántica o la relación entre el número de portadores fotogenerados y los fotones incidentes, que es una cantidad sin unidad.
Corriente oscura
La corriente oscura es la corriente que pasa a través del fotodiodo en ausencia de luz, cuando funciona en modo fotoconductor. La corriente oscura incluye la fotocorriente generada por la radiación de fondo y la corriente de saturación de la unión del semiconductor. La corriente oscura debe tenerse en cuenta en la calibración si se utiliza un fotodiodo para realizar una medición precisa de la potencia óptica, y también es una fuente de ruido cuando se utiliza un fotodiodo en un sistema de comunicación óptica.
Tiempo de respuesta
El tiempo de respuesta es el tiempo que tarda el detector en responder a una entrada óptica. Un fotón absorbido por el material semiconductor generará un par electrón-hueco que, a su vez, comenzará a moverse en el material bajo el efecto del campo eléctrico y, por lo tanto, generará una corriente . La duración finita de esta corriente se conoce como dispersión del tiempo de tránsito y se puede evaluar utilizando el teorema de Ramo . También se puede demostrar con este teorema que la carga total generada en el circuito externo es e y no 2e como se podría esperar por la presencia de los dos portadores. De hecho, la integral de la corriente debida tanto al electrón como al hueco a lo largo del tiempo debe ser igual a e . La resistencia y la capacitancia del fotodiodo y el circuito externo dan lugar a otro tiempo de respuesta conocido como constante de tiempo RC ( ). Esta combinación de R y C integra la fotorrespuesta a lo largo del tiempo y, por lo tanto, alarga la respuesta al impulso del fotodiodo. Cuando se utiliza en un sistema de comunicación óptica, el tiempo de respuesta determina el ancho de banda disponible para la modulación de la señal y, por lo tanto, la transmisión de datos.
Potencia equivalente al ruido
La potencia equivalente al ruido (NEP) es la potencia óptica de entrada mínima para generar fotocorriente, igual a la corriente de ruido rms en un ancho de banda de 1  hercio . NEP es esencialmente la potencia mínima detectable. La detectividad característica relacionada ( ) es la inversa de NEP (1/NEP) y la detectividad específica ( ) es la detectividad multiplicada por la raíz cuadrada del área ( ) del fotodetector ( ) para un ancho de banda de 1 Hz. La detectividad específica permite comparar diferentes sistemas independientemente del área del sensor y el ancho de banda del sistema; un valor de detectividad más alto indica un dispositivo o sistema de bajo ruido. [16] Aunque es tradicional dar ( ) en muchos catálogos como una medida de la calidad del diodo, en la práctica, casi nunca es el parámetro clave.

Cuando se utiliza un fotodiodo en un sistema de comunicación óptica, todos estos parámetros contribuyen a la sensibilidad del receptor óptico, que es la potencia de entrada mínima requerida para que el receptor logre una tasa de error de bits específica .

Aplicaciones

Los fotodiodos P–n se utilizan en aplicaciones similares a otros fotodetectores , como fotoconductores , dispositivos acoplados a carga (CCD) y tubos fotomultiplicadores . Pueden utilizarse para generar una salida que depende de la iluminación (analógica para medición) o para cambiar el estado de los circuitos (digital, ya sea para control y conmutación o para procesamiento de señales digitales).

Los fotodiodos se utilizan en dispositivos electrónicos de consumo , como reproductores de CD , detectores de humo , dispositivos médicos [17] y receptores para dispositivos de control remoto por infrarrojos que se utilizan para controlar equipos, desde televisores hasta aires acondicionados. Para muchas aplicaciones, se pueden utilizar fotodiodos o fotoconductores. Cualquier tipo de fotosensor se puede utilizar para medir la luz, como en los fotómetros de cámara , o para responder a los niveles de luz, como en el encendido del alumbrado público después del anochecer.

Se pueden utilizar fotosensores de todo tipo para responder a la luz incidente o a una fuente de luz que forme parte del mismo circuito o sistema. Un fotodiodo se combina a menudo en un único componente con un emisor de luz, normalmente un diodo emisor de luz (LED), ya sea para detectar la presencia de una obstrucción mecánica al haz ( interruptor óptico ranurado ) o para acoplar dos circuitos digitales o analógicos manteniendo un aislamiento eléctrico extremadamente alto entre ellos, a menudo por seguridad ( optoacoplador ). La combinación de LED y fotodiodo también se utiliza en muchos sistemas de sensores para caracterizar diferentes tipos de productos en función de su absorbancia óptica .

Los fotodiodos se utilizan a menudo para medir con precisión la intensidad de la luz en la ciencia y la industria. Por lo general, tienen una respuesta más lineal que los fotoconductores.

También se utilizan ampliamente en diversas aplicaciones médicas, como detectores para tomografía computarizada (acoplados a centelleadores ), instrumentos para analizar muestras ( inmunoensayo ) y oxímetros de pulso .

Los diodos PIN son mucho más rápidos y sensibles que los diodos de unión p–n y, por lo tanto, se utilizan a menudo para comunicaciones ópticas y en la regulación de la iluminación.

Los fotodiodos P–n no se utilizan para medir intensidades de luz extremadamente bajas. En cambio, si se necesita una alta sensibilidad, se utilizan fotodiodos de avalancha , dispositivos intensificados acoplados a carga o tubos fotomultiplicadores para aplicaciones como astronomía , espectroscopia , equipos de visión nocturna y telémetros láser .

Comparación con fotomultiplicadores

Ventajas en comparación con los fotomultiplicadores : [18]

  1. Excelente linealidad de la corriente de salida en función de la luz incidente
  2. Respuesta espectral de 190 nm a 1100 nm ( silicio ), longitudes de onda más largas con otros materiales semiconductores
  3. Bajo nivel de ruido
  4. Resistente al estrés mecánico
  5. Bajo costo
  6. Compacto y ligero.
  7. Larga vida útil
  8. Alta eficiencia cuántica , típicamente 60–80% [19]
  9. No requiere alto voltaje

Desventajas frente a los fotomultiplicadores :

  1. Área pequeña
  2. Sin ganancia interna (excepto los fotodiodos de avalancha , pero su ganancia suele ser de 10 2 – 10 3 en comparación con 10 5 -10 8 para el fotomultiplicador)
  3. Sensibilidad general mucho menor
  4. El conteo de fotones solo es posible con fotodiodos especialmente diseñados, generalmente enfriados, con circuitos electrónicos especiales.
  5. El tiempo de respuesta para muchos diseños es más lento.
  6. Efecto latente

Fotodiodo fijado

El fotodiodo pinned (PPD) tiene un implante superficial (P+ o N+) en una capa de difusión de tipo N o tipo P, respectivamente, sobre una capa de sustrato de tipo P o tipo N (respectivamente), de modo que la capa de difusión intermedia puede quedar completamente desprovista de portadores mayoritarios, como la región base de un transistor de unión bipolar . El PPD (normalmente PNP) se utiliza en sensores de píxeles activos CMOS ; una variante precursora de triple unión NPNP con el condensador de búfer MOS y el esquema de iluminación de luz de fondo con transferencia de carga completa y sin retraso de imagen fue inventada por Sony en 1975. Este esquema se utilizó ampliamente en muchas aplicaciones de dispositivos de transferencia de carga.

Los primeros sensores de imagen de dispositivos acoplados por carga sufrieron un retraso de obturación . Esto se explicó en gran medida con la reinvención del fotodiodo pinned. [20] Fue desarrollado por Nobukazu Teranishi , Hiromitsu Shiraki y Yasuo Ishihara en NEC en 1980. [20] [21] Sony en 1975 reconoció que el retraso se puede eliminar si los portadores de señal se pueden transferir del fotodiodo al CCD. Esto condujo a su invención del fotodiodo pinned, una estructura de fotodetector con bajo retraso, bajo ruido , alta eficiencia cuántica y baja corriente oscura . [20] Fue informado públicamente por primera vez por Teranishi e Ishihara con A. Kohono, E. Oda y K. Arai en 1982, con la adición de una estructura anti-blooming. [20] [22] La nueva estructura de fotodetector inventada por Sony en 1975, desarrollada por NEC en 1982 y por Kodak en 1984 recibió el nombre de "fotodiodo fijado" (PPD) por BC Burkey en Kodak en 1984. En 1987, el PPD comenzó a incorporarse en la mayoría de los sensores CCD, convirtiéndose en un elemento fijo en las cámaras de vídeo electrónicas de consumo y luego en las cámaras fotográficas digitales . [20]

En 1995, un equipo conjunto de JPL y Kodak fabricó por primera vez un sensor de imagen CMOS con tecnología PPD de bajo voltaje . El sensor CMOS con tecnología PPD fue perfeccionado y perfeccionado por RM Guidash en 1997, K. Yonemoto y H. Sumi en 2000, e I. Inoue en 2003. Esto permitió que los sensores CMOS alcanzaran un rendimiento de imagen equivalente al de los sensores CCD y, posteriormente, los superaran.

Matriz de fotodiodos

Un chip de matriz de fotodiodos unidimensional con más de 200 diodos en línea a través del centro
Una matriz de fotodiodos bidimensional de sólo 4 × 4 píxeles ocupa el lado izquierdo del primer chip sensor óptico de ratón , alrededor de 1982.

Una matriz unidimensional de cientos o miles de fotodiodos se puede utilizar como sensor de posición , por ejemplo, como parte de un sensor de ángulo. [23] Una matriz bidimensional se utiliza en sensores de imagen y ratones ópticos .

En algunas aplicaciones, las matrices de fotodiodos permiten una lectura paralela de alta velocidad, en lugar de integrar electrónica de escaneo como en un dispositivo acoplado por carga (CCD) o un sensor CMOS . El chip de ratón óptico que se muestra en la foto tiene acceso paralelo (no multiplexado) a los 16 fotodiodos en su matriz de 4 × 4.

Sensor de imagen de píxeles pasivos

El sensor de píxeles pasivos (PPS) es un tipo de matriz de fotodiodos. Fue el precursor del sensor de píxeles activos (APS). [20] Un sensor de píxeles pasivos consta de píxeles pasivos que se leen sin amplificación , y cada píxel consta de un fotodiodo y un interruptor MOSFET . [24] En una matriz de fotodiodos, los píxeles contienen una unión p-n , un condensador integrado y MOSFET como transistores de selección . G. Weckler propuso una matriz de fotodiodos en 1968, anterior al CCD. [25] Esta fue la base del PPS. [20]

El ruido de los conjuntos de fotodiodos a veces limita el rendimiento. En la década de 1970 no era posible fabricar sensores de píxeles activos con un tamaño de píxel práctico debido a la tecnología de microlitografía limitada en ese momento. [25]

Véase también

Referencias

Dominio público Este artículo incorpora material de dominio público de la Norma Federal 1037C. Administración de Servicios Generales . Archivado desde el original el 22 de enero de 2022.

  1. ^ Pearsall, Thomas (2010). Fundamentos de fotónica, 2.ª edición. McGraw-Hill. ISBN 978-0-07-162935-5Archivado del original el 17 de agosto de 2021. Consultado el 25 de febrero de 2021 .
  2. ^ Tavernier, Filip y Steyaert, Michiel (2011) Receptores ópticos de alta velocidad con fotodiodo integrado en CMOS a escala nanométrica . Springer. ISBN 1-4419-9924-8 . Capítulo 3 De la luz a la corriente eléctrica: el fotodiodo 
  3. ^ de Häberlin, Heinrich (2012). Fotovoltaica: diseño y práctica de sistemas. John Wiley & Sons. págs. SA3–PA11–14. ISBN 9781119978381. Recuperado el 19 de abril de 2019 .
  4. ^ "Notas de aplicación de fotodiodos – Excelitas – ver nota 4" (PDF) . Archivado desde el original (PDF) el 2014-11-13 . Consultado el 2014-11-13 .
  5. ^ Pearsall, Thomas; Pollack, Martin (1985). Fotodiodos semiconductores compuestos, Semiconductors and Semimetals, vol. 22D. Elsevier. págs. 173–245. doi :10.1016/S0080-8784(08)62953-1.
  6. ^ Riordan, Michael ; Hoddeson, Lillian (1998). Fuego de cristal: la invención del transistor y el nacimiento de la era de la información . WW Norton & Company. ISBN 9780393318517.
  7. ^ "El fototransistor". Bell Laboratories Record . Mayo de 1950. Archivado desde el original el 4 de julio de 2015. Consultado el 9 de abril de 2012 .
  8. ^ Pérez-Tomás, Amador; Lima, Anderson; Billón, Quentin; Shirley, Ian; catalán, Gustavu; Lira-Cantú, Mónica (2018). "Un transistor solar y una memoria fotoferroeléctrica". Materiales funcionales avanzados . 28 (17): 1707099. doi : 10.1002/adfm.201707099. hdl : 10261/199048 . ISSN  1616-3028. S2CID  102819292.
  9. ^ Held. G, Introducción a la tecnología y aplicaciones de diodos emisores de luz, CRC Press, (Worldwide, 2008). Cap. 5, pág. 116. ISBN 1-4200-7662-0 
  10. ^ Yin, Zongyou; Li, Hai; Li, Hong; Jiang, Lin; Shi, Yumeng; Sol, Yinghui; Lu, pandilla; Zhang, Qing; Chen, Xiaodong; Zhang, Hua (21 de diciembre de 2011). "Fototransistores MoS de una sola capa". ACS Nano . 6 (1): 74–80. arXiv : 1310.8066 . doi :10.1021/nn2024557. PMID  22165908. S2CID  27038582.
  11. ^ Shanfield, Z. et al (1988) Investigación de los efectos de la radiación en dispositivos semiconductores y circuitos integrados [ enlace muerto ‍ ] , DNA-TR-88-221
  12. ^ Iniewski, Krzysztof (ed.) (2010), Efectos de la radiación en semiconductores , CRC Press, ISBN 978-1-4398-2694-2 
  13. ^ Zeller, HR (1995). "Fallos inducidos por rayos cósmicos en dispositivos semiconductores de alta potencia". Electrónica de estado sólido . 38 (12): 2041–2046. Bibcode :1995SSEle..38.2041Z. doi :10.1016/0038-1101(95)00082-5.
  14. ^ May, TC; Woods, MH (1979). "Errores suaves inducidos por partículas alfa en memorias dinámicas". IEEE Transactions on Electron Devices . 26 (1): 2–9. Bibcode :1979ITED...26....2M. doi :10.1109/T-ED.1979.19370. S2CID  43748644.Citado en Baumann, RC (2004). "Errores suaves en circuitos integrados comerciales". Revista internacional de sistemas y electrónica de alta velocidad . 14 (2): 299–309. doi :10.1142/S0129156404002363. Se descubrió que las partículas alfa emitidas por la desintegración radiactiva natural del uranio, el torio y los isótopos hijos presentes como impurezas en los materiales de embalaje eran la causa principal de la [tasa de errores suaves] en [memorias de acceso aleatorio dinámicas].
  15. ^ Erzberger, Arno (21 de junio de 2016). "Halbleitertechnik Der LED fehlt der Doppelpfeil". Elektronik (en alemán). Archivado desde el original el 14 de febrero de 2017 . Consultado el 14 de febrero de 2017 .
  16. ^ Brooker, Graham (2009) Introducción a los sensores para medición de distancias e imágenes , ScitTech Publishing, pág. 87. ISBN 9781891121746 
  17. ^ E. Aguilar Pelaez et al., "Compensaciones en la reducción de potencia de los LED para la oximetría de pulso ambulatoria", 29.ª Conferencia anual internacional de la IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, Lyon, 2007, págs. 2296-2299. doi: 10.1109/IEMBS.2007.4352784, URL: https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=4352784&isnumber=4352185
  18. ^ Guía técnica de fotodiodos Archivado el 4 de enero de 2007 en Wayback Machine en el sitio web de Hamamatsu
  19. ^ Knoll, FG (2010). Detección y medición de la radiación , 4.ª ed. Wiley, Hoboken, NJ. pág. 298. ISBN 978-0-470-13148-0 
  20. ^ abcdefg Fossum, Eric R. ; Hondongwa, DB (2014). "Una revisión del fotodiodo fijado para sensores de imagen CCD y CMOS". Revista IEEE de la Sociedad de Dispositivos Electrónicos . 2 (3): 33–43. doi : 10.1109/JEDS.2014.2306412 .
  21. ^ Patente estadounidense 4.484.210, que era un fotodiodo enterrado de tipo superficie flotante con una estructura similar a la invención de Philips de 1975. Dispositivo de imágenes de estado sólido con un retardo de imagen reducido
  22. ^ Teranishi, Nobuzaku ; Kohono, A.; Ishihara, Yasuo; Oda, E.; Arai, K. (diciembre de 1982). "Sin estructura de fotodiodo con retraso de imagen en el sensor de imagen CCD interlínea". 1982 Reunión Internacional de Dispositivos Electrónicos . págs. 324–327. doi :10.1109/IEDM.1982.190285. S2CID  44669969.
  23. ^ Gao, Wei (2010). Nanometrología de precisión: sensores y sistemas de medición para la nanofabricación. Springer. pp. 15-16. ISBN 978-1-84996-253-7.
  24. ^ Kozlowski, LJ; Luo, J.; Kleinhans, WE; Liu, T. (14 de septiembre de 1998). Pain, Bedabrata; Lomheim, Terrence S. (eds.). "Comparación de esquemas de píxeles pasivos y activos para sensores de imagen visibles CMOS". Infrared Readout Electronics IV . 3360 . Sociedad Internacional de Óptica y Fotónica: 101–110. Bibcode :1998SPIE.3360..101K. doi :10.1117/12.584474. S2CID  123351913.
  25. ^ ab Fossum, Eric R. (12 de julio de 1993). "Sensores de píxeles activos: ¿son los CCDS dinosaurios?". En Blouke, Morley M. (ed.). Dispositivos de carga acoplada y sensores ópticos de estado sólido III . Vol. 1900. Sociedad Internacional de Óptica y Fotónica. págs. 2–14. Código Bibliográfico :1993SPIE.1900....2F. CiteSeerX 10.1.1.408.6558 . doi :10.1117/12.148585. S2CID  10556755.  {{cite book}}: |journal=ignorado ( ayuda )

Enlaces externos