La variación de enfoque es un método utilizado para agudizar las imágenes y medir irregularidades de la superficie mediante ópticas con profundidad de campo limitada . [1]
Algoritmo
El algoritmo funciona de la siguiente manera:
- En primer lugar, se capturan imágenes con diferencia de enfoque. Esto se hace moviendo la muestra o la óptica entre sí.
- Luego, para cada posición se calcula el foco sobre cada plano.
- Para obtener una imagen nítida se utiliza el plano con el mejor enfoque. La profundidad correspondiente da la profundidad en esta posición.
Óptica
La variación del enfoque requiere una óptica con muy poca profundidad de campo . Esto se puede lograr si se utiliza una óptica similar a la de un microscopio y un objetivo de microscopio. Estos objetivos tienen una gran apertura numérica que proporciona una pequeña profundidad de campo.
Uso
Este método se utiliza en metrología óptica de superficies y en máquinas de medición por coordenadas . Esto significa medir la forma, la ondulación y la rugosidad de las muestras. [2] Con componentes de hardware y software optimizados se puede alcanzar una resolución lateral de 500 nm (limitación de la longitud de onda de la luz) y una resolución vertical de varios nm.
Ventajas y desventajas
Ventajas:
- Se puede utilizar en muestras con flancos empinados. Esto se debe a que se puede utilizar un anillo de luz para ampliar la apertura de iluminación.
- Muy insensible a las vibraciones.
- Puede proporcionar información de color
- Puede medir en superficies rugosas y lisas.
Desventajas:
- La variación de enfoque normal no se puede utilizar si la superficie de la muestra no presenta estructura en la imagen. Esto significa que no se puede utilizar para obleas y vidrio. La variación de enfoque según la norma ISO 25178-606 también se puede utilizar para medir superficies lisas.
Normalización
El comité ISO está trabajando en una nueva serie de normas ISO, denominada serie ISO 25178. El documento de 6 partes describe los métodos disponibles para la medición de la rugosidad . La variación del foco es uno de los métodos descritos.
Véase también
Referencias
- ^ Alicona. "Variación del enfoque: una tecnología robusta para la metrología óptica de superficies 3D de alta resolución" (PDF) . Consultado el 28 de septiembre de 2017 .
- ^ Bermudez, Carlos. «Variación del foco de iluminación activa» . Consultado el 22 de octubre de 2020 .
