La variación de enfoque es un método utilizado para afinar imágenes y medir irregularidades de la superficie mediante ópticas con profundidad de campo limitada . [1]
Algoritmo
El algoritmo funciona de la siguiente manera:
- Al principio se capturan imágenes con enfoque diferente. Esto se hace moviendo la muestra o la óptica entre sí.
- Luego para cada posición se calcula el foco sobre cada plano.
- Se utiliza el avión con mejor enfoque para obtener una imagen nítida. la profundidad correspondiente proporciona la profundidad en esta posición.
Óptica
La variación del enfoque requiere una óptica con muy poca profundidad de campo . Esto se puede lograr si se utiliza una microscopía como la óptica y un objetivo de microscopio. Estos objetivos tienen una alta apertura numérica que proporciona una pequeña profundidad de campo.
Uso
El uso de este método es para metrología óptica de superficies y máquinas de medición de coordenadas . Esto significa medir la forma, la ondulación y la rugosidad de las muestras. [2] Con componentes de hardware y software optimizados se puede alcanzar una resolución lateral de 500 nm (limitación de la longitud de onda de la luz) y una resolución vertical de varios nm.
Ventajas y desventajas
Ventajas:
- Puede usarse en muestras con flancos empinados. Esto se debe a que se puede utilizar un anillo de luz para ampliar la apertura de iluminación.
- Muy insensible a las vibraciones
- Puede entregar información de color
- Puede medir en superficies rugosas y lisas
Desventajas:
- La variación de enfoque normal no se puede utilizar si la superficie de la muestra no da estructura a la imagen. Esto significa que no se puede utilizar para obleas ni vidrio. La variación del enfoque según ISO 25178-606 también puede medir superficies lisas.
Estandarización
El comité ISO está trabajando en una nueva serie de normas ISO, denominada serie ISO 25178 . El documento de 6 partes describe los métodos disponibles para medir la rugosidad . La variación del enfoque es uno de los métodos descritos.
Ver también
Referencias
- ^ Alicona. "Variación de enfoque: una tecnología sólida para metrología de superficies óptica 3D de alta resolución" (PDF) . Consultado el 28 de septiembre de 2017 .
- ^ Burmúdez, Carlos. «Variación del foco de iluminación activa» . Consultado el 22 de octubre de 2020 .
