El tetrakis(dimetilamino)titanio (TDMAT), también conocido como dimetilamida de titanio (IV) , es un compuesto químico . El compuesto generalmente se clasifica como una especie metalorgánica , lo que significa que sus propiedades están fuertemente influenciadas por los ligandos orgánicos, pero el compuesto carece de enlaces metal-carbono. Se utiliza en la deposición química de vapor para preparar superficies de nitruro de titanio (TiN) y en la deposición de capas atómicas como precursor del dióxido de titanio . El prefijo "tetrakis" se refiere a la presencia de cuatro del mismo ligando , en este caso dimetilamidas.
El tetrakis(dimetilamino)titanio es un compuesto convencional de Ti(IV) en el sentido de que es tetraédrico y diamagnético. A diferencia de muchos alcóxidos , las diorganoamidas de titanio son monoméricas y, por lo tanto, al menos algo volátiles. Se prepara a partir de tetracloruro de titanio (que también es tetraédrico, diamagnético y volátil) mediante tratamiento con dimetilamida de litio: [2]
Al igual que muchos complejos amido, el TDMAT es bastante sensible al agua y su manipulación requiere técnicas sin aire . Los productos finales de su hidrólisis son dióxido de titanio y dimetilamina :
En una reacción relacionada, el compuesto sufre un intercambio con otras aminas, evolucionando dimetilamina .
El TMAT se ha utilizado en la deposición química en fase de vapor de compuestos organometálicos (MOCVD). [ cita requerida ]