Los sistemas microoptoelectromecánicos ( MOEMS ), también conocidos como MEMS ópticos , son integraciones de sistemas mecánicos, ópticos y eléctricos que implican la detección o manipulación de señales ópticas a un tamaño muy pequeño. Los MOEMS incluyen una amplia variedad de dispositivos, por ejemplo , interruptores ópticos , interconexiones ópticas , VCSEL sintonizables y microbolómetros . Estos dispositivos suelen fabricarse utilizando tecnologías de micromecanizado estándar y microóptica utilizando materiales como silicio, dióxido de silicio , nitruro de silicio y arseniuro de galio .
MOEMS incluye dos tecnologías principales: sistemas microelectromecánicos y microóptica. Ambas tecnologías implican de forma independiente el procesamiento por lotes, similar a los circuitos integrados, y el micromaquinado, similar a la fabricación de microsensores.
Durante 1991-1993, el Dr. M. Edward Motamedi, un ex innovador de Rockwell International en las áreas de sistemas microelectromecánicos y microóptica, utilizó internamente el acrónimo MOEMS para sistemas microoptoelectromecánicos. Esto era para distinguir entre MEMS ópticos y MOEMS, donde MEMS ópticos podrían incluir óptica en masa pero MOEMS se basa realmente en microtecnología donde los dispositivos MOEMS se procesan por lotes exactamente como circuitos integrados, pero esto no es cierto en la mayoría de los casos para MEMS ópticos.
En 1993, el Dr. Motamedi presentó oficialmente MOEMS por primera vez, como la poderosa combinación de MEMS y microóptica, en una charla invitada en la conferencia SPIE Critical Reviews of Optical Science and Technology en San Diego. En esta charla, el Dr. Motamedi presentó la figura siguiente, para demostrar que MOEMS es la interacción de tres microtecnologías principales; a saber, microóptica, micromecánica y microelectrónica. [1]