Un siliciuro es un tipo de compuesto químico que combina silicio y un elemento generalmente más electropositivo .
El silicio es más electropositivo que el carbono . En términos de sus propiedades físicas, los siliciuros están estructuralmente más cerca de los boruros que de los carburos . Sin embargo, debido a las diferencias de tamaño, los siliciuros no son isoestructurales con los boruros y los carburos. [1]
Los enlaces en los siliciuros varían desde estructuras conductoras similares a metales hasta covalentes o iónicos . Se han descrito siliciuros de todos los metales que no son de transición , excepto el berilio . Los siliciuros se utilizan en interconexiones . [2]
Los átomos de silicio en los siliciuros pueden tener muchas organizaciones posibles:
La mayoría de los siliciuros se producen por combinación directa de los elementos. [1]
Un siliciuro preparado mediante un proceso autoalineado se llama salicida . Este es un proceso en el que los contactos de siliciuro se forman sólo en aquellas áreas en las que el metal depositado (que después del recocido se convierte en un componente metálico del siliciuro) está en contacto directo con el silicio, por lo tanto, el proceso es autoalineado. Se implementa comúnmente en procesos MOS/ CMOS para contactos óhmicos de la fuente, el drenaje y la compuerta poli-Si.
Los siliciuros de los grupos 1 y 2, por ejemplo Na 2 Si y Ca 2 Si, reaccionan con agua, produciendo hidrógeno y/o silanos.
El siliciuro de magnesio reacciona con el ácido clorhídrico para dar silano :
Los siliciuros del grupo 1 son aún más reactivos. Por ejemplo, el siliciuro de sodio, Na 2 Si, reacciona rápidamente con agua para producir silicato de sodio , Na 2 SiO 3 y gas hidrógeno . El siliciuro de rubidio es pirofórico y se enciende en contacto con el aire. [3]
Los siliciuros de metales de transición suelen ser inertes frente a soluciones acuosas. Al rojo vivo, reaccionan con hidróxido de potasio , flúor y cloro . El mercurio , el talio , el bismuto y el plomo son inmiscibles con el silicio líquido.
Las películas delgadas de siliciuro tienen aplicaciones en microelectrónica debido a su gran contenido de silicio, alta conductividad eléctrica , estabilidad a altas temperaturas y resistencia a la corrosión. [4]