La microscopía óptica de barrido a través del foco ( TSOM ) es un método de obtención de imágenes que produce una sensibilidad de medición tridimensional a escala nanométrica utilizando un microscopio óptico de campo claro convencional. Ravikiran Attota [1] introdujo y mantuvo la TSOM en el NIST . En 2010 recibió el premio R&D 100. [2] En el método TSOM, se escanea un objetivo a través del foco de un microscopio óptico y se adquieren imágenes ópticas convencionales en diferentes posiciones focales. Las imágenes TSOM se construyen utilizando imágenes ópticas a través del foco. Una imagen TSOM es única en determinadas condiciones experimentales y es sensible a los cambios en las dimensiones de un objetivo de una forma distinta, lo que resulta muy aplicable en la metrología dimensional a nanoescala . Se alega que el método TSOM tiene varias aplicaciones en nanometrología [3] [4] [5] [6] [7] [8] , que van desde las nanopartículas hasta las vías a través del silicio (TSV).
El Instituto Nacional de Estándares y Tecnología de EE.UU. produjo un vídeo corto en YouTube sobre el método TSOM.
Véase también
Referencias
- ^ "Dr. Ravikiran Attota". Archivado desde el original el 16 de junio de 2016. Consultado el 13 de julio de 2017 .
- ^ "Investigación y Desarrollo Mundial".
- ^ Attota, Ravikiran. "Mediciones a nanoescala con el método óptico TSOM*" (PDF) . www.nist.gov .
- ^ Ravikiran Attota; Ronald G. Dixson; András E. Vladár (1 de junio de 2011). "Microscopía óptica de barrido de enfoque pasante". www.spiedigitallibrary.org . doi : 10.1117/12.884706.
- ^ Attota, R.; Bunday, B.; Vartanian, V. (2013). "Metrología de dimensión crítica mediante microscopía óptica de barrido de foco pasante más allá del nodo de 22 nm". Appl. Phys. Lett . 102 (22): 222107. Bibcode :2013ApPhL.102v2107A. doi : 10.1063/1.4809512 .
- ^ Attota, R.; Dixson, RG (2014). "Resolución de la forma tridimensional de líneas de ancho inferior a 50 nm con sensibilidad a escala nanométrica utilizando microscopios ópticos convencionales". Appl. Phys. Lett . 105 (4): 043101. Bibcode :2014ApPhL.105d3101A. doi : 10.1063/1.4891676 .
- ^ Attota, R.; Kavuri, PP; Kang, H.; Kasica, R.; Chen, L. (2014). "Determinación del tamaño de nanopartículas mediante microscopios ópticos". Aplica. Física. Lett . 105 (16): 163105. Código bibliográfico : 2014ApPhL.105p3105A. doi : 10.1063/1.4900484 .
- ^ Kang, H.; Attota, R.; Tondare, V.; Vladar, AE; Kavuri, P. (2015). "Un método para determinar la cantidad de nanopartículas en un grupo utilizando microscopios ópticos convencionales". Appl. Phys. Lett . 107 (10): 103106. Bibcode :2015ApPhL.107j3106K. doi :10.1063/1.4930994.
