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Vidrio fotosensible

Florero de vidrio fotosensible

El vidrio fotosensible , también conocido como vidrio fotoestructurable ( PSG ) o vidrio fotomecanizable , es un vidrio de la familia de vidrios de silicato de litio en el que se pueden grabar imágenes utilizando radiaciones de onda corta como la luz ultravioleta . [1] El vidrio fotosensible fue descubierto por primera vez por S. Donald Stookey en 1937. [2] [3] [4]

Proceso de exposición

Cuando el vidrio se expone a luz ultravioleta con longitudes de onda entre 280 y 320 nm, se forma una imagen latente . El vidrio permanece transparente en esta etapa, pero aumenta su capacidad para absorber la luz ultravioleta. Este aumento de absorción sólo es detectable mediante espectroscopía de transmisión UV y es causado por una reacción de reducción de oxidación que ocurre dentro del vidrio durante la exposición. Esta reacción hace que los iones de cerio se oxiden a un estado más estable y los iones de plata se reduzcan a plata. [5]

Tratamiento térmico post-exposición.

La imagen latente capturada en el cristal se hace visible mediante calentamiento. [6] [2] [4] Este tratamiento térmico se realiza elevando la temperatura a aproximadamente 500 °C para permitir que la reacción de oxidación-reducción forme nanoclusters de plata. A continuación, la temperatura se eleva a 550-560 °C y se forma metasilicato de litio (Li 2 SiO 3 ) en los nanoclusters de plata. Este material se forma en la fase cristalina. [6]

Grabado químico HF

El metasilicato de litio de las zonas expuestas del vidrio se puede grabar con ácido fluorhídrico (HF) . Se forman así microestructuras de vidrio con una rugosidad del orden de 5 µm, de las que se obtiene una imagen tridimensional de la máscara que se va a fabricar. [1] a 0,7 µm. [6]

Ver también

Referencias

  1. ^ ab Dietrich, TR; Ehrfeld, W; Lacher, M; Krämer, M; Speit, B (1996). "Tecnologías de fabricación de microsistemas utilizando vidrio fotograbable". Ingeniería Microelectrónica . 30 (1–4): 497–504. doi :10.1016/0167-9317(95)00295-2.
  2. ^ ab Pablo, pág. 333
  3. ^ Encyclopædia Britannica, págs. 194-209
  4. ^ ab Maluf, págs. 62-63
  5. ^ "Procesamiento de vidrio fotodefinible - khalidtantawi". sitios.google.com .
  6. ^ abc "Procesamiento de estructuras de vidrio APEX fotosensibles con paredes laterales lisas y transparentes por Khalid H Tantawi, Janeczka Oates, Reza Kamali, Nathan Bergquist y John D Williams, Journal of Micromech. & Microeng. 21 (2011)".

Bibliografía

enlaces externos