El vidrio de borofosfosilicato , comúnmente conocido como BPSG , es un tipo de vidrio de silicato que incluye aditivos de boro y fósforo . Los vidrios de silicato, como el PSG y el vidrio de borofosfosilicato, se utilizan comúnmente en la fabricación de dispositivos semiconductores para capas intermetálicas, es decir, capas aislantes depositadas entre capas metálicas o conductoras sucesivamente superiores.
Se ha implicado al BPSG en el aumento de la susceptibilidad de un dispositivo a errores leves , ya que el isótopo boro-10 es bueno para capturar neutrones térmicos de la radiación cósmica . [1] [2] Luego sufre fisión produciendo un rayo gamma , una partícula alfa y un ion de litio . Estos productos pueden luego descargar carga en estructuras cercanas, causando pérdida de datos (inversión de bits o alteración de un solo evento ).
En los diseños críticos, se utiliza boro empobrecido, que consiste casi en su totalidad en boro-11, para evitar este efecto como medida de endurecimiento frente a la radiación . El boro-11 es un subproducto de la industria nuclear .