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Procesamiento de plasma

El procesamiento por plasma es una tecnología de procesamiento de materiales basada en plasma que tiene como objetivo modificar las propiedades químicas y físicas de una superficie. [1]

Las técnicas de procesamiento de plasma incluyen:


Los temas relacionados son la química del plasma , la deposición química de vapor y los procesos físicos de deposición de vapor como la deposición por pulverización , el iondopaje de plasma, la pulverización de plasma al vacío y el grabado de iones reactivos .


Referencias

  1. ^ Consejo Nacional de Investigaciones (1991). Procesamiento de materiales con plasma: oportunidades científicas y desafíos tecnológicos. Washington, DC: Prensa de Academias Nacionales. doi :10.17226/1875. ISBN 978-0-309-04597-1.