Burn-Jeng Lin ( chino :林本堅; nacido en 1942) es un ingeniero eléctrico taiwanés.
Después de graduarse de la Universidad Nacional de Taiwán en 1963 con un título en ingeniería eléctrica, Lin obtuvo su doctorado en la misma materia en la Universidad Estatal de Ohio en 1970. [1] [2]
Durante su mandato en IBM , que comenzó en 1970, [3] Lin se convirtió en el primero en proponer la litografía de inmersión , una técnica que se volvió viable en la década de 1980. [4] [5] Lin dejó IBM para fundar su propia empresa, Linnovation, Inc., en 1992. Comenzó a trabajar para TSMC en 2000. [6] Lin fue nombrado IEEE Fellow en 2003 y recibió un honor equivalente por parte del SPIE . Al año siguiente, SPIE le otorgó a Lin el premio inaugural Frits Zernike. [7] En 2008, Lin fue elegido miembro de la Academia Nacional de Ingeniería de los Estados Unidos "por innovaciones técnicas y liderazgo en el desarrollo de la litografía para la fabricación de semiconductores". [8] Lin recibió el premio IEEE Cledo Brunetti y la medalla IEEE Jun-ichi Nishizawa en 2009 y 2013 respectivamente. [2] [5] En 2014, Lin fue nombrado miembro de la Academia Sinica . [1] [7] Al jubilarse de TSMC, le ofrecieron un puesto en la facultad de la Universidad Nacional Tsing Hua . [7] [9]