Novellus Systems Inc. fue una empresa fundada por Brad Mattson que desarrolló, fabricó, vendió y prestó servicio técnico a equipos de semiconductores utilizados en la fabricación de circuitos integrados . Era un proveedor de deposición química en fase de vapor (CVD), deposición química en fase de vapor mejorada por plasma (PECVD), deposición física en fase de vapor (PVD), deposición electroquímica (ECD), procesamiento térmico ultravioleta (UVTP) y equipos de preparación de superficies utilizados en la fabricación de semiconductores.
Novellus Systems se fundó en 1984 y tiene su sede en San José, California . [1] La empresa cuenta con instalaciones de ingeniería y fabricación en Tualatin, Oregón y San José, California. Además, Novellus cuenta con instalaciones de diseño de componentes y desarrollo de software en Bangalore, India.
En diciembre de 2011, Novellus acordó ser adquirida por Lam Research por 3.300 millones de dólares. [2] [3] La adquisición se completó en junio de 2012.
Las líneas de productos de Novellus se denominaron ALTUS, ATHENA, GAMMA, INOVA, SABRE, SOLA, SPEED y VECTOR, SEQUEL y ayudaron a las empresas de semiconductores con la fabricación.