El Centro de Nano y Micro Dispositivos (NMDC) es un centro de investigación ubicado en la Universidad de Alabama en Huntsville . El centro constituye la columna vertebral de la investigación en nanotecnología en la universidad. Opera una sala limpia de nivel 4 , así como varias otras instalaciones de laboratorio.
El objetivo del centro es integrar eficazmente la experiencia en ingeniería eléctrica, química y de materiales, biología, química y física hacia el desarrollo y la investigación en los campos de los sistemas microelectromecánicos (MEMS) y la nanotecnología. [1] [2]
El centro opera una sala limpia equipada con máquinas de microfabricación que realizan deposición de películas delgadas, fotolitografía, grabado seco y húmedo y mediciones metrológicas. También opera un cuarto oscuro para grabado húmedo, galvanoplastia y fabricación de silicio poroso. Las instalaciones son utilizadas por organizaciones con sede en el norte de Alabama . Los procesos realizados en dicho nivel de sala limpia se pueden clasificar en: [3]