La microtermografía fluorescente ( FMT ) es una técnica de microscopía para obtener imágenes infrarrojas de la distribución de la temperatura a pequeña escala; la resolución espacial alcanzable es de medio micrómetro y la resolución de temperatura de 0,005 K. Son posibles mediciones dependientes del tiempo, ya que la vida útil de la fluorescencia es de solo unos 200 microsegundos.
Se aplica una película delgada de fósforo , trifluoroacetonato de europio, sobre la superficie (por ejemplo, una matriz de circuito integrado ) y se ilumina con luz ultravioleta a 340–380 nm, estimulando la fluorescencia principalmente en la línea de 612 nm. La eficiencia cuántica de la fluorescencia disminuye exponencialmente con la temperatura, por lo que las diferencias en la intensidad de la luz emitida se pueden utilizar para evaluar las diferencias en la temperatura de la superficie, y las áreas calientes se muestran más oscuras. [1]