La limpieza megasónica es un método de limpieza especializado que utiliza ondas sonoras de alta frecuencia para eliminar contaminantes de superficies delicadas. Es particularmente eficaz en industrias como la fabricación de semiconductores , la óptica y la producción de dispositivos médicos , donde la precisión y la limpieza suave son cruciales. Es un tipo de limpieza acústica relacionada con la limpieza ultrasónica . De manera similar a la limpieza ultrasónica , la limpieza megasónica utiliza un transductor que se coloca sobre un sustrato piezoeléctrico . [1] El transductor crea ondas acústicas a una frecuencia más alta (normalmente de 0,8 a 2 MHz ) que la limpieza ultrasónica (de 20 a 200 kHz ). Como resultado, la cavitación que se produce se reduce y en una escala mucho menor. [2]
La limpieza megasónica se diferencia de la limpieza ultrasónica en la frecuencia que se utiliza para generar las ondas acústicas . La limpieza ultrasónica utiliza frecuencias más bajas y su mecanismo se basa en la cavitación , [3] mientras que la limpieza megasónica utiliza frecuencias más altas y produce una cavitación menos dañina.
En los dispositivos ultrasónicos, la cavitación se produce en todo el tanque y se limpian todos los lados de las piezas sumergidas. En los dispositivos megasónicos, la onda acústica se encuentra solo en una línea de visión desde la superficie del transductor . Por este motivo, los transductores megasónicos se construyen normalmente utilizando conjuntos de dispositivos piezoeléctricos cuadrados o rectangulares muy espaciados que están unidos a un sustrato. Las obleas de semiconductores se limpian normalmente en portadores que sostienen los sustratos perpendiculares al transductor , lo que permite limpiar tanto las superficies delantera como trasera. A veces se utilizan portadores especiales para reducir las obstrucciones que pueden impedir que se limpien partes de la superficie de la oblea. [4]
Los limpiadores megasónicos vienen en muchas configuraciones, como sistemas de boquilla simple o doble, o transductores de una sola oblea. En los dispositivos de una sola oblea, la oblea gira sobre una herramienta giratoria y las ondas megasónicas se aplican desde arriba. [5]