KLA Corporation es una empresa estadounidense de bienes de capital con sede en Milpitas, California . Suministra sistemas de control de procesos y gestión del rendimiento para la industria de semiconductores y otras industrias nanoelectrónicas relacionadas. Los productos y servicios de la empresa están destinados a todas las fases de la producción de obleas , retículas , circuitos integrados (IC) y envases, desde la investigación y el desarrollo hasta la fabricación en volumen final. [2]
KLA-Tencor se formó en 1997 mediante la fusión de KLA Instruments y Tencor Instruments, dos empresas de la industria de equipos semiconductores y sistemas de gestión de rendimiento. [3] La fusión tenía como objetivo crear una fuente única de equipos de diagnóstico y proceso de chips. [3] KLA Instruments fue fundada en 1975 por Ken Levy y Bob Anderson, y se centró en la detección de fotomáscaras para identificar defectos en chips. Posteriormente, KLA amplió su línea de productos para incluir inspección de obleas, metrología de obleas y software integrado de inspección y análisis. [4] Tencor fue fundada en 1976 por el científico checo e inmigrante estadounidense Karel Urbanek, junto con su colega John Schwabacher. [5] [6] La empresa se centró inicialmente en realizar mediciones precisas del espesor de la capa de película semiconductora y, en 1984, desarrolló tecnología de escaneo láser para detectar partículas y otros tipos de contaminación. La empresa también desarrolló equipos de análisis de datos y revisión de defectos. [4] En el momento de la fusión, los ingresos combinados de las empresas superaban los mil millones de dólares. [3]
En febrero de 1998, KLA-Tencor adquirió Nanopro GmbH, con sede en Friburgo, Alemania , una empresa que utilizaba tecnología interferométrica avanzada para medir la forma y el espesor de las obleas. [7] En abril, la compañía adquirió Amray, Inc., un proveedor con sede en Bedford, Massachusetts, de sistemas de microscopio electrónico de barrido (SEM) para aplicaciones que incluyen la fabricación de semiconductores. [8] En junio, la empresa adquirió VARS, con sede en San José, California , un desarrollador de sistemas de archivo y recuperación de imágenes. [7] En noviembre, KLA-Tencor adquirió la línea Quantox de productos de monitoreo de óxido de Keithley Instruments , empresa de instrumentos y medición con sede en Solon, Ohio . [9] En diciembre, la empresa adquirió la filial Ultrapointe de Uniphase Corporation . [10]
En diciembre de 1999, la empresa adquirió ACME Systems, fabricante de software de análisis de rendimiento, con sede en Taiwán. [11]
En febrero de 2000, KLA-Tencor adquirió Finle Technologies, Inc., con sede en Austin, Texas , un desarrollador de software de análisis y modelado de litografía. [12] En marzo, la compañía adquirió Fab Solutions, desarrollador de software de control de procesos avanzados (APC) con sede en Austin, Texas , de la matriz ObjectSpace. [13]
En 2001, la empresa adquirió la empresa de control de procesos y gestión del rendimiento Phase Metrics, Inc. [14]
En 2004, KLA-Tencor adquirió el fabricante de sistemas de inspección de superficies Candela Instruments, Inc. [15] y el negocio Wafer Inspection Systems de Inspex, Inc. [16].
En 2006, la empresa adquirió ADE Corporation, un proveedor de metrología de obleas de silicio y equipos relacionados. [17]
En 2007, KLA-Tencor adquirió el fabricante de productos de litografía y grabado por plasma OnWafer Technologies, [18] la empresa de monitoreo de temperatura SensArray Corporation [18] y la empresa de metrología y control de procesos Therma-Wave Corporation. [19]
En 2008, la empresa adquirió la empresa de pruebas y medición ICOS Vision Systems Corporation NV, [20] y la unidad de negocios Microelectronic Inspection Equipment (MIE) de Vistec Semiconductor Systems, Inc. [21].
En 2010, KLA-Tencor adquirió la empresa de hardware tecnológico Ambios Technology, Inc. [21]
En 2014, la empresa adquirió la empresa de inspección y litografía computacional Luminescent Technologies, Inc. [21]
En 2017, la empresa adquirió la empresa de inspección y perfilado óptico Zeta Technologies Co. Ltd. [21]
En 2018, KLA-Tencor adquirió la línea de productos Nano Indenter de Keysight Technologies . La empresa también adquirió Nanomechanics Inc. y MicroVision. [21]
En marzo de 2018, KLA-Tencor anunció un acuerdo para adquirir Orbotech , proveedor de equipos de inspección óptica automatizada con sede en Yavne, Israel, por aproximadamente 3.400 millones de dólares. [22] Orbotech también era propietaria de SPTS Technologies Ltd, con sede en Newport, Gales , Reino Unido, un fabricante de equipos de procesamiento de obleas de grabado, PVD y CVD para MEMS , embalaje avanzado, LED, RF de alta velocidad y dispositivos de gestión de energía. [23]
El 10 de enero de 2019, KLA-Tencor anunció que cambiarían su nombre a KLA Corporation. [24] En febrero, la empresa anunció que había completado su adquisición de Orbotech. [22] El cambio de nombre de la empresa entró en vigor en julio de 2019. [25] En junio, KLA anunció planes para abrir una segunda sede en Estados Unidos en Ann Arbor, Michigan . La inauguración de las instalaciones estaba prevista para el verano de 2021, con planes de albergar entre 500 y 600 nuevas contrataciones, de las cuales alrededor del 50 % serían ingenieros. [26] Según se informa, la instalación tendría una relación con la Universidad de Michigan y apoyaría las asociaciones de la industria automotriz.
En julio de 2021, la empresa presentó nuevos productos de inspección para chips de automóviles. [27] En noviembre, se inauguró la nueva sede norteamericana del KLA en Ann Arbor, Michigan. [28] La instalación tiene 230.000 pies cuadrados y está diseñada para albergar a 1.000 empleados. [28]
En enero de 2008, el KLA pagó 65 millones de dólares para resolver las acusaciones de que la empresa y ciertos ejecutivos habían retrocedido ilegalmente concesiones de opciones sobre acciones. [29] La Comisión de Bolsa y Valores de EE.UU. declaró que "el KLA exageró dramáticamente sus resultados financieros informados, privando a los inversores de información precisa sobre los costos de compensación y el desempeño financiero de la empresa. Es especialmente preocupante que una empresa pública incurra en tal mala conducta incluso después de haber sido Advirtió que estas prácticas eran inadmisibles." [30]
La Fundación KLA (originalmente Fundación KLA-Tencor) es el brazo filantrópico de la empresa y fue fundada en 2000. [31] La Fundación KLA apoya y beneficia a las comunidades globales en las que viven los empleados de KLA, como donaciones al distrito escolar de Milpitas, la Red Americana Cross y la Coalición de Ayuda COVID-19 del Silicon Valley Leadership Group. [32]