La Cornell NanoScale Science and Technology Facility (CNF) es una sala limpia y una instalación para usuarios científicos ubicada en la Universidad de Cornell en Ithaca, Nueva York . La CNF es uno de los dieciséis miembros de la Infraestructura Nacional Coordinada de Nanotecnología (NNCI).
El CNF se inició como parte de una iniciativa de la Fundación Nacional de Ciencias en 1977 y, posteriormente, ha recibido apoyo parcial de varios otros programas de la NSF. [1] Actualmente recibe alrededor de 20 millones de dólares cada año en financiación federal. [2] En 2004, el CNF se trasladó a su instalación actual, Duffield Hall, con el apoyo de 100 millones de dólares de Cornell. Ahora incluye 15.000 pies cuadrados de sala limpia de nivel 1000, así como varias veces más espacio de laboratorio que no es sala limpia. [3] En 2009, el NNIN recibió 10 millones de dólares como parte de la Ley de Recuperación y Reinversión Estadounidense . [4]
El CNF es una instalación para usuarios generales y, si bien muchos de ellos son de Cornell o de otras universidades cercanas, también atrae a usuarios de una amplia gama de universidades y empresas de todo el mundo. [5] Aproximadamente 700 científicos utilizan la instalación cada año, la mitad de los cuales están asociados con Cornell. [6]
El CNF se utiliza para la investigación en una amplia gama de campos, como MEMS , microfluídica , nanomagnetismo y bioelectrónica . Incluye herramientas de fabricación para procesos que incluyen litografía por haz de electrones , fotolitografía , deposición química en fase de vapor , deposición por haz de electrones y grabado de iones reactivos . También contiene equipos de caracterización que incluyen microscopios electrónicos de barrido , elipsómetros y estaciones de sonda para medición eléctrica.