El fluoruro de benciltrimetilamonio es una sal de amonio cuaternario . Se comercializa en forma de hidrato. El compuesto es una fuente de fluoruro soluble en materia orgánica para la eliminación de los grupos protectores de éter sililo . Como es el caso del fluoruro de tetra-n-butilamonio y la mayoría de los demás fluoruros de amonio cuaternario , el compuesto no se puede obtener en forma anhidra.