FSI International, Inc. ( FSI ) es una empresa de fabricación estadounidense con sede en Chaska, Minnesota , que suministra equipos de procesamiento utilizados para fabricar microelectrónica, incluidos dispositivos semiconductores .
La historia de la empresa comenzó con la creación de Fluoroware, Inc. en 1966, una empresa que fabricaba dispositivos para mantener las obleas de silicio en su lugar durante los diversos procesos involucrados en la producción de dispositivos semiconductores. Cuando se les pidió que diseñaran un aparato de secado, los directores de Fluoroware aceptaron hacerlo y establecieron FSI International en 1973 para comercializar este nuevo producto.
La oferta de la empresa se amplió para satisfacer la necesidad del mercado de equipos utilizados en la fabricación de microelectrónica . En la década de 1990, la empresa se trasladó de sus instalaciones originales con vista al lago Hazeltine a un sitio más grande cercano.
En 1999, FSI International anunció un acuerdo para adquirir YieldUP International Corp. [1] En octubre de 2012, Tokyo Electron adquirió FSI International, Inc. y renombró la división TEL FSI. [2] [3]
FSI International suministró equipos de limpieza de obleas, utilizando técnicas químicas húmedas, criogénicas u otras. [4] [5] [6] [7] La empresa también vendió sistemas de microlitografía que utilizan procesos de fotorresistencia. [8] La empresa proporciona actualizaciones, reemplazos y otros servicios de soporte. Las cinco series principales de equipos producidos por la empresa son: ZETA, MERCURY, ORION, ANTARES y POLARIS, y en años anteriores, la empresa también produjo los sistemas de procesamiento SATURN y NEPTUNE. Algunos de los productos de la empresa son sistemas de limpieza por aspersión, sistemas de limpieza de obleas individuales, sistemas de procesamiento criogénico y sistemas de limpieza por inmersión. [9]